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费斯托FESTO行业应用

时间:2018-01-18      阅读:401

晶圆基材太阳能模块生产

快速、安全地传输晶圆和太阳能电池

H 型门架 EXCM

H 型门架,带伯努利吸盘 OGGB

H 型高速门架速度快、精度高且结构紧凑。

与伯努利吸盘 OGGB 组合使用,实现对易碎晶圆的非接触式轻柔传输。

 

该过程非常安全且耗气量少。

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      DefaultsDone

      工作空间大、速度快、传输平稳

      在太阳能电池的生产过程中,通常需要对易碎的晶圆进行快速、的抓取和移动。H 型高速门架为此提供了理想的解决方案。

      H 型高速门架专为抓取太阳能电池和晶圆而设计,覆盖了长方形工作空间,zui多 4 个自由度。伯努利吸盘非常适用于易碎晶圆的非接触式轻柔传输。

      平面门架 EXCH放大显示

      笛卡尔高速抓取系统,具有机器人功能

      动态响应佳,每分钟zui多抓取 100 次

      结构紧凑、扁平:安装/工作空间比出众

      • 低振动:对框架的要求降低
      • 增加一个 Z 轴或旋转/升降模块,就可用于三维应用场合
      • 即可安装的完整系统,所有装配、接线完毕
      • 可选:(在一个控制柜中或一个安装板上)

       

      平滑地移动到终端位置:不仅能保护易碎晶圆

      标准气缸 DSBC

      标准气缸 DSBC

      带自调节气动终端位置缓冲 PPS 的 DSBC 能地适应负载和速度的改变。

      • 正确的缓冲能减少磨损。
      • 自调节功能节省了时间。

       

      用于控制柜的完整安装板(晶圆切割):完成装配(包括所有气管和电线)、经过检查且提供文档记录

      即可安装的安装板

      即可安装的解决方案

      为您的应用场合量身定制。

      节省您的时间和安装工作。

      • 抓取系统
      • 控制柜
      • 安装板
      • 产品模块

       

      用于快速、地抓取晶圆

      三角运动装置 EXPT

      通过三角运动装置 EXPT 实现高速抓取

      • 速度比传统的笛卡尔抓取系统更快
      • 所需空间小
      • 高度动态化,每分钟抓取 150 次

      技术参数

      规格EXCH-40EXCH-60
      X 轴行程 [mm]

      500、750、1000、1,500

      200 ...2000

      750、1000、1500、2000

      200 ...2500

      Y 轴行程 [mm]

      400、500、750、1000

      200 ...1000

      500、750、1000、1250、1500

      500 ...1500

      zui大动态响应的额定负载 [kg]46
      安装位置水平或垂直
      重复精度 [mm]±0.1

      zui大速度 [m/s]

      水平

      垂直

       

      5

      4

       

      5

      3

      zui大加速度 [m/s]

      水平

      垂直

       

      50

      30

       

      50

      30

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