费斯托FESTO行业应用
时间:2018-01-18 阅读:401
晶圆基材太阳能模块生产
快速、安全地传输晶圆和太阳能电池
H 型门架,带伯努利吸盘 OGGB
H 型高速门架速度快、精度高且结构紧凑。
与伯努利吸盘 OGGB 组合使用,实现对易碎晶圆的非接触式轻柔传输。
该过程非常安全且耗气量少。
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工作空间大、速度快、传输平稳
在太阳能电池的生产过程中,通常需要对易碎的晶圆进行快速、的抓取和移动。H 型高速门架为此提供了理想的解决方案。
H 型高速门架专为抓取太阳能电池和晶圆而设计,覆盖了长方形工作空间,zui多 4 个自由度。伯努利吸盘非常适用于易碎晶圆的非接触式轻柔传输。
笛卡尔高速抓取系统,具有机器人功能
动态响应佳,每分钟zui多抓取 100 次
结构紧凑、扁平:安装/工作空间比出众
- 低振动:对框架的要求降低
- 增加一个 Z 轴或旋转/升降模块,就可用于三维应用场合
- 即可安装的完整系统,所有装配、接线完毕
- 可选:(在一个控制柜中或一个安装板上)
平滑地移动到终端位置:不仅能保护易碎晶圆
标准气缸 DSBC
带自调节气动终端位置缓冲 PPS 的 DSBC 能地适应负载和速度的改变。
- 正确的缓冲能减少磨损。
- 自调节功能节省了时间。
用于控制柜的完整安装板(晶圆切割):完成装配(包括所有气管和电线)、经过检查且提供文档记录
即可安装的解决方案
为您的应用场合量身定制。
节省您的时间和安装工作。
- 抓取系统
- 控制柜
- 安装板
- 产品模块
用于快速、地抓取晶圆
通过三角运动装置 EXPT 实现高速抓取
- 速度比传统的笛卡尔抓取系统更快
- 所需空间小
- 高度动态化,每分钟抓取 150 次
技术参数
规格 | EXCH-40 | EXCH-60 |
---|---|---|
X 轴行程 [mm] | 500、750、1000、1,500 200 ...2000 | 750、1000、1500、2000 200 ...2500 |
Y 轴行程 [mm] | 400、500、750、1000 200 ...1000 | 500、750、1000、1250、1500 500 ...1500 |
zui大动态响应的额定负载 [kg] | 4 | 6 |
安装位置 | 水平或垂直 | |
重复精度 [mm] | ±0.1 | |
zui大速度 [m/s] 水平 垂直 |
5 4 |
5 3 |
zui大加速度 [m/s] 水平 垂直 |
50 30 |
50 30 |