臭氧老化试验箱臭氧探头有三种形式，那就是气敏半导体式臭氧探头、紫外式探头和电化学式探头。

这三款形式的探头当中，电化学式探头所使用的浓度范围是zui高的，其他两款所涉及的浓度差不多。在使用寿命来说，紫外式探头的使用寿命是zui长的，大约在三年左右，其他两款大约在一致两年左右。但是相比较性能特点来说，紫外式探头响应速度慢，制作工艺较复杂，对使用环境要求高，体积相对较大，检测安装不是很方便，电化学式探头是反应zui快的，并且制作工艺较简单，体积小，一般环境下都可安装，所以比较方便。

一般电化学式探头用于环境在线检测较多，气敏半导体式探头可用于在线检测，紫外式探头用于高精度仪器。