硅片或玻璃基底上覆有一层透明薄膜，LEXT OLS4100可透过薄膜观测基底的表面形貌

硅片基底光刻表面形貌测试图

LEXT OLS4100全新的多层模式则可以识别多层样品各层上反射光强度的峰值区域，并将各层设为焦点，这样既可实现对透明样品上表面的观察和测量，而且也可以对多层样品的各层进行分析和测量。

透明样品内层表面形貌观察和测量

多层模式功能，可以分析透明体层，它可以测量透明层下的几何形状和表面粗糙度和膜层的厚度，即使样品涂有塑料的玻璃基板。