三座标非接触测量显微镜的使用方法：

准备样品：将需要测量的样品放置在显微镜的载物台上，并确保样品稳定不动。

调整显微镜：调整显微镜的位置和角度，使样品位于显微镜的观察视野内。同时，调整显微镜的焦距，确保样品的图像清晰。

启动测量软件：打开显微镜配套的测量软件，并选择相应的测量模式和参数。

移动测量区域：通过显微镜的移动平台，将需要测量的区域移动到观察视野内。

采集图像：在观察视野内，采集样品的图像数据。可以通过软件对采集的图像进行预处理，如滤波、去噪等。

特征识别和测量：通过软件中的特征识别算法，对采集的图像进行特征识别和提取。然后，根据需要测量的参数和目标，进行相应的测量。

结果输出：将测量结果输出到软件界面上，也可以将结果导出为数据文件进行进一步的分析和处理。