扫描式电镜的仪器说明介绍
时间:2017-09-05 阅读:632
扫面电镜仪器介绍:
扫描电子显微镜(SEM)是1965年发明的较现代的细胞生物学研究工具,主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态,即用极狭窄的电子束去扫描样品,通过电子束与样品的相互作用产生各种效应,其中主要是样品的二次电子发射。
电镜的分辨本领以它所能分辨的相邻两点的zui小间距来表示,是电镜的重要指标。显微镜的分辨本领可根据0.6λ/sinα求出,其中α为透过样品后电子束锥角之半,λ是波长。可见光的波长约为300~700纳米,而电子束的波长与加速电压有关。当加速电压为 50~100千伏时λ 约为0.0053~0.0037纳米。由于电子束的波长远远小于可见光的波长,即使电子束的锥角仅为光学显微镜的1%,电镜的分辨本领仍远远优于光学显微镜。
扫描式电镜(Scanning electron microscope,SEM),电子束不穿过样品,仅在样品表面扫描激发出次级电子。放在样品旁的闪烁晶体接收这些次级电子,通过放大后调制显像管的电子束强度,从而改变显像管荧光屏上的亮度。显像管的偏转线圈与样品表面上的电子束保持同步扫描,这样显像管的荧光屏就显示出样品表面的形貌图像,这与工业电视机的工作原理相类似。扫描式电镜的分辨率主要决定于样品表面上电子束的直径。放大倍数是显像管上的扫描幅度与样品上扫描幅度之比,可从几十倍连续地变化到几十万倍。扫描式电镜的主要特点是:①不需要很薄的样品;②图像有很强的立体感;③能利用电子束与物质相互作用而产生的次级电子,吸收电子和X射线等信息分析物质成分。
扫描式电镜的电子枪和聚光镜与透射式电镜的大致相同,但是为了使电子束更细,在聚光镜下又增加了物镜和消像散器;在物镜内部还装有两组互相垂直的扫描线圈。物镜下面的样品室内装有可以移动、转动和倾斜的样品台。