日前，常州市美特仪器制造有限公司为核工业部微电子研究所设计的新型加热器成功交付。其UV  BAKE选型技术要求如下：1、选用一板状加热器BAKE  PLATE(HOT  CHUNCK)用于光掩膜PHOTOMASK的清洁工业。2、板面尺寸φ150X150左右，加热面光洁度不小于Ra3.2平面度，公差不大于0.15。3、zui高控制温度250℃。4、加热板加热面温度分布梯度±0.6℃。5、加热板板面温度控制精度±0.5℃。6、加热板在真空状态下工作不允许产生挥发性物资和浮沉雾霾样颗粒。7、加热系统可以与设备主控制计算机系统联动。8、加热板和控制附件可以*工作时间大于2年。常州市美特仪器制造有限公司技术部