INFICON PEG100真空潘宁规提供了可靠的高真空测量。无高真空灯丝。由于等离子点火的钛阴极板和高电压降低，潘宁规也可以应用在阴极溅射镀膜工艺上。在总线的选择方面，除了对数的模拟输出信号输出外还有便于集成到真空系统的Profibus DP或DeviceNet协议输出。

INFICON PEG100真空潘宁规优点

■测量范围广：5 X 10 -7～1 Pa
■全金属冷阴极陶瓷传感器
■新型几何电极提供了*的点火性能
■降低等离子点火高电压和钛阴极板污染的危险，即使在氩溅射过程中也一样
■阳极环和钛阴极可清洗，更换容易
■zui小磁场强度测量
■ LED指示灯电源和等离子点火
■对数模拟输出信号
■ Fieldbus总线接口（Profibus DB, DeviceNet）,集成到真空系统的网络通信