锦正茂实验室高低温真空探针台的技术指标

产品概述：

锦正茂高低温真空探针台可进行真空环境下的高低温测试（4.2K~500K），可升级加载磁场，低温防辐射屏设计，样品台采用高纯度无氧铜制作，温度均匀性更好，温度传感器采用有着良好稳定性和重复性的PT100或者标定过的硅二极管作为测温装置，支持光纤光谱特性测试，兼容高倍率金相显微镜，可微调移动，器件的高频特性(支持频率上达67GHz)，探针热沉设计，LD/LED/PD的光强/波长测试，自动流量控制，材料/器件的IV/CV特性测试等。

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应用范围：

锦正茂高低温真空探针台高低温真空环境下的芯片测试，材料测试，霍尔测试，电磁输运特性等。

可选附件：

þ 防震桌

þ 多级压缩制冷机

þ 机械泵/分子泵组/离子泵

þ 射频部件

þ 各类型频率真空接头

þ 各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线等…

þ 各类探针夹具

þ Chuck运动装置

þ 电磁铁系统/超导磁铁系统

þ 1Mpa正压系统

þ 超高温升级选件

þ 超高真空升级选件

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技术指标：