产品概述：

北京锦正茂科技有限公司提供的多维磁场探针台，采用无磁材料制成，采用亥姆霍兹线圈正交放置，产生空间多维磁场。线圈可采用自然冷却（磁场较小）或水冷结构（磁场较大），标配线圈过热保护装置。配合高精度双极性直流电源可长时间稳定工作。通过软件或者电源控制面板控制每一维输出电流，可以产生空间任意方向的矢量磁场。探针台配备有可移动样品台，可以实现水平方向二维移动和360度转动，便于样品的安装和测试。探针台具有四个高精度探针臂，同时配有高精度电子显微镜，便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号，用来测试芯片、晶圆片、封装器件等。

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广泛应用于半导体工业、MEMS 、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。三维探针台和锦正茂自主研发的高精度双极性电源相匹配，通过真正的双极性电源输出，实现了空间任意方向上的矢量场合成。

可选附件：

þ 各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线

þ CCD或C-MOS视频成像装装置

þ Chuck运动装置

þ 电磁铁系统/超导磁铁系统

þ 1Mpa正压系统升级

þ 超高温升级选件

þ 超高真空升级选件

þ 各类探针夹具

þ 屏蔽箱

þ 防振桌

þ 转接头      

þ 静音真空泵

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技术指标：