去离子水(deionized water)是指除去了呈离子形式杂质后的纯水。国际标准化组织ISO/TC 147规定的“去离子”定义为：“去离子水完全或不完全地去除离子物质，主要指采用离子交换树脂处理方法。”现在的工艺主要采用RO反渗透的方法制取。应用离子交换树脂去除水中的阴离子和阳离子，但水中仍然存在可溶性的有机物，可以污染离子交换柱从而降低其功效，去离子水存放后也容易引起细菌的繁殖。

　　在半导体行业中，去离子水被称为“超纯水”或是“18兆欧水”。

　　去离子纯水机产品主要用途

　　1、制取电子工业生产如显像管玻壳、显像管、单晶硅半导体、绫路板、液晶显示器、计算器硬盘和集成电路芯片等工艺所需的超纯水;

　　2、制取电力行业发电锅炉和厂矿企业中、低压锅炉给水所需的软化水、除盐水;

　　3、制取医药行业所需的医用大输液、药剂、注射剂、生化制品纯水、医用无菌水和人工肾透析用纯水;

　　4、制取饮料(含酒类)行业的饮用纯净水、蒸馏水、酒类生产勾兑用纯水以及啤酒糖化投料用水和纯生啤酒过滤等;

　　5、制取化工行业制造过程所需的工艺纯水;

　　6、制造纺织印染工艺所需的除硬度除盐水;

　　7、制取光学玻璃镀膜前清洗用纯水、超纯水;

　　8、制取电镀工艺用去离子水、电池生产工艺用纯水以及汽车、家电、建材产品表面涂装和清洗用纯水;

　　9、海水、苦咸水制取生活用水和饮用水;

　　10、宾馆、楼宇、社区、机场房产屋业的优质供水网络系统和泳池循环水处理系统;

　　11、制取实验室用蒸馏水。

　　去离子水的处理步骤

　　从自来水到去离子水一般要经过几步处理 ：

　　1、先通过石英砂过滤颗粒较粗的杂质

　　2、然后高压通过反渗透膜

　　3、最后一般还要经过一步紫外杀菌以去除水中的微生物

　　4、假如此时电阻率还没有达到要求的话，可以再进行一次离子交换过程最高电阻率可达到18兆。

　　相对而言，蒸馏水只是先气化再冷凝，其纯度如电导率一般不如纯度高的去离子水，半导体工业中用的大多数是高纯度的去离子水。