测量显微镜是光学计量仪器之一种，是指配有瞄准显微镜和坐标工作台的用于二维坐标尺寸测量的光学计量仪器。测量显微镜采用透、反射的方式对工件长度和角度作精密测量。特别适用于录象磁头、大规模集成电路线宽以及其它精密零件的测试，是一种理想的多用途的小型精密测量仪器。测量显微镜的功能主要有以下几点：
1、直角坐标中测定长度。
2、旋转度盘测定角度。
3、用作观察显微镜。
4、利用测量显微镜微动载物台的移动，配全目镜的十字座标线，作长度量测。
5、利用旋转载物台与目镜下端之游标微分角度盘，配全合目镜之址字座标线，作角度量测，令待测角一端对准十字线与之重合，然再让另一端也重合。
6、利用标准检测螺纹的节距、节径、外径、牙角及牙形等尺寸或外形。
7、检验金相表面的晶粒状况。
8、检验工件加工表面的情况。
9、检测微小工件的尺寸或轮廓是否与标准片相符。

测量显微镜的注意事项
1、测量显微镜的使用、维护是技术性较强的工作，对操作人员应进行专业技能培训，掌握必要的操作技能和建立必要的工作检查制度。
2、对测量显微镜要注意正确合理安排使用。仪器的存放地点应避免灰尘、潮湿、气温突变或含有酸碱性的气体环境。
3、测量显微镜的光学部件有：目镜、物镜、玻璃工作台等，光学零件的表面油污灰尘清洁，可用脱脂棉花蘸以少许酒精，轻轻揩拭，切勿将镜片擦毛。
4、测量显微镜维护、保养、调试，未经技术培训不具备专业技能的人员不要随意拆卸调试和清洗加油。
5、电源系统出现故障，需先切断电源，再进行检查。透射照明灯泡需要更换灯泡，拆除底盖，进行检查更换。