半导体解决方案 | 阀切换离子色谱法测定电子级双氧水中微量阴离子含量
时间：2024-10-31 阅读：203
电子级双氧水是大规模集成电路生产工艺中所必须的电子化学原料，被广泛应用于半导体、超大集成电路装配和加工过程中的清洗和腐蚀等方面。半导体硅材料纯度较高，但在加工过程中，因各种原因会留下污染物，这些污染物如果不及时清理，就容易影响性能、精准度，甚至报废。电子级双氧水对品质要求、产品精度等要求都较高，通过阀切换离子色谱法可测定双氧水中Cl-、SO42-、NO3-、PO43-等微量阴离子含量。
实验设备
阀切换技术
阀切换技术是离子色谱中常用的在线技术，主要用于基体的消除。一般是通过切换不同类型固定相的色谱柱，利用固定相选择性的差异富集待测离子，消除基体的干扰；或者是在固定相类型相同的色谱柱之间进行切换。
实验数据
标准谱图
盛瀚阀切换技术可实现Cl-、SO42-、NO3-、PO43-的分离与检测
线性谱图
以氯离子为例，标准曲线R值为0.999948，线性良好，仪器测试稳定性高
样品谱图
本方案根据样品性质进行检测，使用盛瀚CIC-D300+双通道离子色谱，通过阀切换系统去除基体干扰后，待测离子进入离子色谱进行分析，采用抑制电导检测。从测试结果可以看出待测离子峰型良好，目标峰的响应信号明显，目标峰的分离度及检出限均满足标准要求，采用该方案可以对双氧水中阴离子进行准确的定性定量分析。
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