华宇净化谈谈无尘室内防止微粒子污染的几项基本原则

   无尘室(Clean Room)是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气和细菌等污染物排除，并将室内的温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而特别设计的房间。使用过滤器，就可以使无尘室内的浮游微粒子浓度达到零水平，保证产品的质量。实际的生产现场，由于作业者、机器和周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等，在生产产品周边扬起了少许的微粒子，因而造成了元件清洁面的粒子污染。那么，无尘室内该如何避免这种微粒子污染呢？可以从以下几个方面入手：

      1、不携入
      在无尘室内，要想不携入微粒子，需要遵守以下规则：
      1）作业员进入无尘室前，机台、零件携入前应进行清洁处理。
      2）进入无尘室的相关人员，在更衣室要穿着防静电服等。
      3）通过风淋室时，利用高速干净空气，除去附在衣服表面的粒子后，才能进入无尘室。
      4）机器及材料带进无尘室前，应尽可能在密封状态下。带进无尘室前室保养后，用超纯水擦拭，经风淋室吹淋后才进入无尘室。
      5）无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽，佩戴附有过滤器的排气用小型风机于腰间。  

     

2、不发生
      不但要控制操作人员在无尘室内微粒子的发尘量，也应该控制制造机台的发尘量。因物品在移动时，所产生的摩擦及接触剥离会造成发尘，而物品在移动时也会有微粒子的发生。故为了控制发尘量达到极小限度应采取以下方法：
      1）减少接触剥离发尘的动作形态。
      2）采用磨耗发尘小的材质。
      3）采用发尘小的润滑油。
      4）机台应用非接触化工作原理。

  

    3、不储备
      若能*实施“不携入”技术，无尘室内的洁净度就可以维持。但现实中人和物品的频繁出入及制造机台的掣动，在广大的无尘室内要有*洁净度是不可能的。因此“不储备”技术快速地在过滤器中应用，以除去已发生的微粒子变得非常重要。通常已发生的微粒子会依据重力及静电吸附力而停留在周边的物体表面。突发性的振动及不稳定的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起，增加了重大微粒子污染的危险性。
      在*等级的无尘室中从天花板到地面，*除去微粒子的空气须在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流动。这是在约10秒内将室内空气和*过滤空气*交换所计算出来的数值。同时空气的流向也必须要有的控制才行。特别要保证气流的流通路径畅通无阻，因为在流通路径中有障碍物的话，容易产生空气涡流而形成空气的滞留区域，使得附近已发生的微粒子无法快速排，长时间漂流在无尘室内，而一部分会附着在周边机器设备的表面而引起污染。
      控制气流可防止微粒子累积，但对于带电表面的微粒累积就无法防止。
      为了防止由静电吸附而引起的微粒附着，通常在无尘室内会使用带电程度在数十伏以下的导电性材料。而对于制造品本身的带电，则采用带电程度很少的搬送形态及接触部品材料，并借助除电装置进行除电。

  

    4、排除/除去
      在无法避免大量微粒子发生的机台中，为了不让无尘室内产生微粒子，因此直接对外排气，即所谓的局部排气。
      总之，无尘室内防止微粒子污染，既要从技术角度入手，也要操作人员按规范操作，才能较大限度地保证无尘室洁净的工作环境。

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