①工作原理和使用范围真空翻板阀工作原理如图22-6所示。阀板运动由两个动作组成，即阀板平动和翻转，平动用于压紧或脱离密封面，翻转用于将阀板翻转一定角度（通长为0°?90°），以获得一定的通导能力。和真空挡板阀相比，优点是阀杆运动距离短，动作速度快，阀体总高度较小，缺点是全开启后，阀板仍处于气流通道上，增加了流阻。阀体尺寸较大，要留有足够阀板翻转空间，防止碰撞卡住。整体机构较挡板复杂，制造成本较高。

真空翻板阀阀板翻转的机构类型很多，常见的有：四连杆传动机构、蚌线机构、链板翻板机构以及止动杆翻板机构。驱动方式有手动、液压传动、气动、手电两用传动等。

真空翻板阀适合于中、大型口径的高真空、超高真空抽气系统中，多为直角式，可充分利用抽气管道中的弯头空间。

阀门适用介质为非腐蚀性洁净气体，阀板密封采用丁腈橡胶，可用于介质温度为一25?80°C的高真空系统。采用氟橡胶可用于烘烤温度150°C以下的超高真空系统。

②形式和性能参数CF-J型手动翻板阀是靠人工旋转阀门手柄使阀板上下运动，实现阀板启闭动作。

CFChJ型气动翻板阀是利用压缩空气为动力，通过电磁换向阀改变气路方向，使汽缸中活塞做往复运动， 带动阀板启闭，实现真空系统中的气流截止或导通。

（5）真空蝶阀

①工作原理和使用范围真空蝶阀的工作原理是靠固定在转动轴上的蝶板旋转90°实现阀门的开启和关闭。和其他相同口径的真空阀门相比，真空蝶阀具有结

构简单，通导能力大，阀体结构长度短，启闭速度快等优点。国内生产的真空蝶阀有手动、气动、电磁动三种形式，手动真空蝶阀适用小口径（公称尺寸DN32? 300）真空抽气系统、抽气管道接通或截止气流之用， 气动和电动真空蝶阀，zui大公称尺寸可达DN5000。

真空蝶阀在开位、关位都有自锁功能，阀板可承受0. 3MPa的气体压力，不怕振动，可在任意位置安装，阀杆不窜动。

真空蝶阀使用的介质为洁净空气及不含颗粒粉尘的非腐蚀性气体，密封材料选用丁腈橡胶，可用于介质温度在一25?80°C的高真空系统中，选用氟橡胶密封圈，可用于烘烤温度150°C的超高真空系统中。

②形式和性能参数手动高真空蝶阀有GI型、 GI-A型。GI型真空蝶阀的外形如图22-7所示。漏气速率小于 IXIQ-6Pa. L/s0

GIQ气动真空蝶阀，采用1/4旋转汽缸，转角可调，设有开位和关位电信号装置，可作为自动控制信号源实现蝶阀启闭的自动控制。外形见图22-8。

GIQ系列气动真空蝶阀的漏率小于1X10-5 Pa • L/s0密封材料为丁腈真空橡胶，气源压力为0.4? 0. 6MPa,适用于介质温度一25?80°C，压力7X 10-4?105Pa的高真空抽气系统及抽气管道中。

手、电两用型GID电动真空蝶阀，采用1/4旋 转的电动装置，工作平稳，噪声小（与气动阀相比）， 可在任意方向安装，阀门开位和关位均有电信号装 置、用于显示阀板开闭状态和自动控制的信号源。 GID系列电动真空蝶阀外形见图2H

GID系列电动真空阀门的阀板密封材料为丁腈真空橡胶，使用介质和环境温度为一25?80°C，漏气速率小于lX10-6Pa • L/s,适用于10_4Pa高真空设备及抽气管道中。