管式炉的选择
时间：2023-02-20 阅读：260
A、选择工作温度时，请注意仪器所能保持的最高温度(<1小时)和仪器能连续工作的温度(安全、连续使用的温度)。最高加热温度1700℃，连续工作温度1600℃，如有不清楚的地方，请联系客服B、仪器使用的加热元件限制了加热炉的最大工作温度,目前我公司加热元件可分为四类:（1）250 ~ 1250℃采用电阻丝加热元件或红外灯管加热元件，最高加热温度1200℃，长时间使用1100℃，采用K型热电偶测温（如果客户需要也可更换为S热偶）。例如：科晶OTF-1200X-S
（2）1300 ~ 1600℃ 采用碳化硅加热元件，采用S型热电偶测温。 （3）1600 ~ 1800℃ 采用MoSi2加热元件（禁止长时间在800℃以下加热），采用B型热电偶测温。 A、坩埚选择（严禁不用坩埚直接将样品放入常规炉管） a.石英坩埚:≤1200℃使用石英管，热处理温度超过600℃时，请不要用氧化铝坩埚。 b.氧化铝坩埚：≤1800℃使用刚玉管，热处理温度超过900℃时，请不要用莫来石坩埚。1.需要对粉末进行900℃热处理，选择石英坩埚装载样品。
2.需要将合金在1600℃熔化，选择氧化铝坩埚。（1）选择好坩埚后，根据坩埚装载样品后的体积选择合适的炉管管径（一般买炉子会标配有加热炉管）。 a.石英管 ≤1200℃ （真空环境下最高1000℃）
名称 | 型号 | 管径 |
科晶OTF系列 | OTF-1200X-S | Φ25、Φ50 |
OTF-1200X | Φ50、Φ60、Φ70、Φ80、Φ100、Φ130 |
科晶GSL系列 | GSL-1100X-S | Φ20、Φ50 |
GSL-1100X-6-S | Φ152 |
GSL-1100X-8.5-S | Φ216 |
b.刚玉管 ≤1800℃ （刚玉管不建议真空环境下使用）
| 型号 | 管径 |
科晶GSL系列 | GSL-1400X | Φ60、Φ80 |
GSL-1500X | Φ80 |
GSL-1600X | Φ60、Φ80 |
GSL-1700X | Φ60 |
GSL-1750X | Φ60 |
GSL-1800X | Φ60 |
根据实验要求选择单温区管式加热炉和多温区管式加热炉，多温区较单温区设有多个热电偶，n温区加热炉恒温区比（n-1）温区加热炉的恒温区要长，部分仪器尺寸变大。恒温区一般指加热炉内的某一温度相同的区间，样品放置在这一区间内，样品各处受到的温度会基本一致。（中心区域温度差小于±1℃）恒温区的增加或减少可能会改变仪器的尺寸，仪器整体会变大或变小。选择合适的恒温区，一定要先根据样品的尺寸或实验要求的受热体积来选择。A、实验样品尺寸大于仪器恒温区，需要选择多温区来增加恒温区的长度。B、根据实验要求需要多个温度梯度时，这就需要多温区来实现。例如：通过物理沉积方式在基片上生长二维材料，原料高温挥发后，利用载气向低压端移动，一定温度下载基片上生长。（相邻两个温区最大温差300℃）请注意加热炉加热区分为总加热区长度(加热源能覆盖的区域)和恒温区长度。恒温区总是小于加热区。请选择一个恒温区尺寸超过您样品的加热炉。4、根据功能选择加热炉
管式炉为基础加热系统，您可以根据不同的需求选择成套科晶系统，如CVD、 PECVD、HPCVD、ALD、石墨烯和二维材料生长系统等。（1）生长石墨烯/PECVD系统，整个系统包括加热炉系统、射频电源、供气系统、真空系统、水冷系统、通风系统、氢气报警系统。（2）立式管式炉：加热管垂直放置，以悬吊样品的方式，为样品提供淬火。
（3）RTP(快速热处理加热炉):可以对样品进行快速加热和快速冷却。a.OTF-1200X-4-RTP快速退火管式炉，最快50℃/s升温速度，红外灯管加热。 b.OTF-1200X-50-S 迷你型快速加热冷却炉，加热炉加热到某一温度后，滑至样品所在区域，可以提高升温速度，热处理结束，将炉体移开，使样品所在区域暴露在炉膛外快速冷却。（4）高温高压炉/真空炉:特殊设计的镍铬合金和不锈钢炉管，对样品进行高温高压和真空处理。（5）旋转管式炉:炉管旋转式结构可以更均匀的热处理粉末，同时也可以达到粉末均匀包覆的效果。（6）氢气炉/气氛炉:氢气处理或其他危险气体的实验，请和销售技术人员提前说明。不建议使用普通管式炉做危险实验。·合肥科晶所有炉子的电子元器件均采用UL认证器件。·合肥科晶保证加热炉可单台可通过认证（可能会产生部分认证费用，具体请咨询销售）。
