XRF分析是一种快速的、非破坏式的物质测量方法，用于在整个行业范围内验证镀层的厚度和成分。其基本的无损性质，加上快速测量和结构紧凑的台式仪器等优点，能实现现场分析并立即得到结果。

 

原理：当能量高于原子内层电子结合能的高能X射线与原子发生碰撞时,驱逐一个内层电子从而出现一个空穴,使整个原子体系处于不稳定的状态,当较外层的电子跃迁到空穴时,产生一次光电子，击出的光子可能再次被吸收而逐出较外层的另一个次级光电子，发生俄歇效应,亦称次级光电效应或无辐射效应。所逐出的次级光电子称为俄歇电子。当较外层的电子跃入内层空穴所释放的能量不被原子内吸收,而是以光子形式放出,便产生X 射线荧光，其能量等于两能级之间的能量差。因此，射线荧光的能量或波长是特征性的,与元素有一一对应的关系。由Moseley定律可知，只要测出荧光X射线的波长,就可以知道元素的种类,这就是荧光X射线定性分析的基础。此外,荧光X射线的强度与相应元素的含量有一定的关系,据此,可以进行元素定量分析。X射线探测器将样品元素的X射线的特征谱线的光信号转换成易于测量的电信号来得到待测元素的特征信息。

 

XRF光谱仪的使用注意事项： 

1、为了保持仪器的良好外观，需经常对仪器表面做清洁工作，用软布擦拭灰尘。

2、向样品腔内放样品时，一定要注意清洁，不可使样品尘粒掉入其中，否则会污染X光管和探测器窗口，造成测量失准和探头损坏。 

3、样品盖需要用酒精棉球做好清洁工作。 

4、为使仪器能长期工作正常，需定期对各项参数进行测试，并进行调整。

5、仪器只允许经培训的人员才能操作，其他人员一律不能操作。 

6、使用、保存和搬动中，要特别小心，以免磕碰、损伤外表、损坏内部线路。