微型光纤光谱仪的主要性能参数有光谱范围、光谱分辨率（FWHM）、杂散光、光路稳定性、非线性效应等。

    1.光谱范围 

根据需要分析气体的种类特征吸收谱线的范围来确定光谱仪波长范围，同时要兼顾分辨率，光谱范围越宽分辨率越低。 

    2.光谱分辨率

光谱分辨率也称光谱带宽，通常用nm或cm-1表示。分辨率越高，分辨光谱细节的能力越强。

    3.杂散光

杂散光是指光路中被探测到的所有非信号光。杂散光的存在综合影响CEMS系统的探测限、信噪比、浓度测量准确度，杂散光越小系统误差越小。

    4.光路稳定性

光路稳定性主要指由于温度、外力加速度引起的光学平台形变而导致的波长和幅度漂移。光路稳定性对浓度测量结果产生较大影响，AvaSpec-ULS系列光谱仪大大降低杂散光并提高了机械和温度稳定性，具有一个双内置模式消除器和多阶复合抛物面镜，机械强度提高10倍。

    5.非线性

非线性定义为光谱仪测量实际幅值与理论幅值的比值。作为系统误差，非线性效应在测量吸光度时会影响曲线的形状、数值以及各个区间的比例。