・适合半导体等需要供给高洁净度气体的行业。

・主体材质为SUS316L二次熔炼或SUS316L。

・接触气体部分经过电解研磨处理。

・外部金属密封构造。

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产品样本

・从半导体到一般行业都可使用的标准型。

・主体材质可根据流体选择SUS316或黄铜。

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产品样本

・用于半导体等需要高洁净度气体的行业。

・可作为气体的切断阀使用。

・接触气体部分无弹簧，驱动部也使用膜片隔离，因此减小了气路的死区，抑制了粒子的产生。

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产品样本

・用于精密洗净及洁净室组装。

・全部产品均经过了氦气泄漏检测。

・符合SEMI规格

・采用方便作业的锻造主体。

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［单向阀］

・防止背压使流体逆流。

・构造简单，内部的可动零部件仅为O形圈。

・采用无弹簧的构造，可减少因震颤等产生的颗粒，降低下游的压力变动。

［真空发生器］

・真空发生器。

・用于更换气罐时，排出配管中残余的气体。

［流量开关］

・检测配管破裂等造成的过剩流量。

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产品样本

・全系列的配管连接均可选择Rc, R或NPT。

・从半导体到一般行业都可使用的标准型。

・可用于精密洗净。

・降低执行器的高度，实现产品的小型、轻量化（AK3542, 4542）。

・操做通口为M5螺纹（AK3542, 4542）。

・手轮构造经过改良、实现了产品的小型、轻量化（AK3652, 4652）。

・采用有凹凸的圆形手轮，更便于操作和确认（AK3652, 4652）。

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产品样本

・从半导体到一般行业均可使用的标准型。

・产品体型小、重量轻。

　质量：0.52kg、高：97.5mm。

・内部容积小，其体积存量少。

・配管扩展品

　可从压缩接头、NPT内螺纹、Rc螺纹中选择。

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