真空应用的高精度解决方案

为了在高真空、超高真空和超高纯真空中直接使用，需要具有特殊设计的传感器。我们为此提供具有密封功能的拧入式规格以及适合安装在高真空中的高精度光电传感器。这时信号通过“直通”解决方案通过电导线的电缆套管从真空腔中引出。

负载锁定系统的两个备选参考光栅

解决方案 – 版本1

我们的光电传感器BOH提供一个用于实现晶片定心参考光栅的版本。它们作为拧入式规格在具有密封功能的坚固不锈钢壳体中提供，通过带小光点的微型透镜工作。可通过外部放大器舒适地进行精调。

特点

• 拧入式规格
• 具有密封功能的坚固不锈钢壳体
• 带小光点的微型透镜
• 适合低至1x10-9 mbar的真空应用
• 配备外部放大器，远程校准简单

解决方案 – 版本2

另外我们的光传感器或带集成式微型镜头的一次性光栅BOH可供使用，我们乐意根据您的个性化要求对它们进行匹配。

特点

• 用于您的个性化背景的集成式微型透镜
• 适合至1x10-9 mbar的真空应用

  在严苛的环境下时也能可靠识别晶片

  解决方案

  巴鲁夫的光电传感器BOH甚至能够通过真空腔上狭窄的壳体通道可靠检查晶片的有无情况。它们具有带小光点的微型透镜。我们可按照您的个性化设计规定实现密封功能。

  特点

• 带小光点的微型透镜
• 具有密封功能的坚固不锈钢壳体符合个性化设计规定
• 适合低至1x10-9 mbar的真空应用
• 配备外部放大器，远程校准简单