ICP-MS具有灵敏度高，多元素定性定量同时分析等优点。因而成为广泛应用的分析仪器：

 

1、环境样品分析。包括自来水、地下水、地表水、海水以及土壤、废弃物的分析。

 

1）水环境分析

水环境中痕量元素浓度的检测主要有两个目的：一是研究元素在自然环境中的地球化学循环，二是基于环境保护与监测的要求。环境分析的主要工作就是痕量分析。ICP-MS具有多元素同时测定的能力及高的检测灵教度（ICP及火焰原子吸收的检测灵敏度不能满足环保监测的要求）。

 

2）土壤、沉积物的元素测定

研究污染土壤、沉积物中的重金属元素的再释放及其影响因素，对预测污染土壤、沉积物中重金属元素的迁移和归宿以及提出正确的、费用可行的整治办法具有重要指导意义。随着各种新的分析技术的出现，各种环境要求的相关法规对环境样品的检测下限要求越来越低。对土壤和沉积物中金属元素的测定也提出了更高的要求。

 

3）大气颗粒中元素的分析-----ICP-MS是常用的颗粒中痕量金属元素和其它无机元素分析手段

 

2、半导体行业所用的各种材料，如高纯试剂、超纯金属中痕量杂质的分析。

如：高纯材料分析应用

高纯稀土（REE）已被广泛应用于高新科技的各个生产领域中，例如显示器、电子元件、光电子器件、超导体、超磁体、陶瓷等。在稀土材料的生产和应用过程中，稀土材料的纯度对产品的性能及价格起到决定的作用。传统的ICP分析、X射线荧光分析均有较大局限性如分析周期长、检测线差等。ICP-MS由于极地的检测限，干扰少，多元素同时分析，动态范围广在稀土纯度分析中具有魅力的技术。

 

3、生化，临床研究，如头发、血液、尿样、生物组织的分析毒理分析。元素形态分析以及药品质量分析

 

如：ICP-MS 在公安法医领域的应用

ICP-MS技术具有同位素比测定功能。特定元素的同位素比样品的来源地具有相关性。可用于溯源、判别分析中。该技术可应用于公安法医领域，例如毒品来源及产地判别。

另外，与传统的多元素分析技术ICP比较，对一些常见及罕见能引起中毒的元素，如As、Hg、Pb、 Be、Se、Ti等ICP-MS的检测下限要低10000倍以上，对公安法医领域有极为重要的意义，如中毒事件所用无机元素型毒物的快速确认、中毒时间的确认、射击残留物特定分析、特性材料的定性分析、来源分析、毒性分析等。

采用ICP-MS与激光烧蚀技术（LA）联用，可做交通事故判断、笔记举水鉴定及取证样品分析等。

 

4、钢铁、合金、玻璃、陶瓷等样品的分析。

 

5、地质学及同位素比的研究

 

1）地质样品分析的应用：当前，地学研究和正在开展的多目标地质调查队分析技术提出越来越高的要求：要求测定的元素越来越多、要求的检测限越来越低。ICP-MS在地质样品分析中应用的早也广泛，并且始终是一个重要领域。

 

2）同位素比值的应用

ICP-MS可快速分析同位素比值。从而可利用同位素稀释法准确、快速地测定各种样品的痕量元素含量和样品种类及来源判断。

 

6、医药、食品工业

 

如：中药和食品微量元素的测定

中药及食品中一方面需分析无机营养元素（Cu、Ca、Mg、Fe等），另一方面，需分析无机有毒元素（Pb、 As、Hg、Cd），ICP-MS可对质量数3-260aum的元素同时检测，动态范围可达7-8个数量级，可同时测定含量差别较大的元素，简便、快捷、灵敏度好及准确度高。

 

7、石油化工、核工业等领域的分析