美国MKS真空计的量程范围
时间:2017-06-15 阅读:5179
美国MKS真空计的量程范围美国MKS真空计是测量真空度或气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。美国MKS真空计量程范围:
在较高压力时(10~1Pa)利用压力差U型管压力计,麦克劳真空计,薄膜计,弹簧管压力计等[1] 。
在10~10Pa的中间压力范围,利用气体性质(热传导,粘性)的变化而做成的皮氏计、粘性真空计。
在低压力时,使用将气体分子电离而测量的电离真空计。
美国MKS真空计可将主要的真空计分为三大类,分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。利用力学性能的真空计典型的有波尔登规(Bourdon)和薄膜电容规;利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼(Pirani)电阻规和热电偶规;利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。一个是它的测量范围,一个是它的测量精度。皮拉尼(电阻)真空计,国内的产品测量范围上限是一个大气压,下限到0.1帕,精度为正负50%。国外的产品测量范围上限是一个大气压,下限到0.01帕,精度为正负20%。冷阴极(电离)真空计,目前国内外的产品测量范围上限一般都是1帕,精度为正负50%。MKS流量计是以单位时间内压力体积的流量方式来控制气体质量流量的测量仪器。MKS薄膜真空计、MKS流量控制阀、MKS流量计广泛应用在半导体行业,镀膜玻璃,医药制药行业,生物工程行业,适合各种气体媒介,常用的有氧气,氢气,氮气,氯化氢气体,氨气,SICL4硅烷气体等。
美国MKS流量计、MKS薄膜真空计、MKS流量控制阀核心型号为:
MKS BARATRON 622A01TDE 1 Pa/133.32C70145 Lot 2
MKS Baratron Pressure Switch (41A & 51A)
MKS INSTRUMENTS PORTABLE BARATRON SYSTEM
MKS Instruments Baratron Pressure Transducer 220BHS-2A1
MKS Baratron Type 224/224HA Pressure Switch/Controll?er
MKS Baratron Absolute Pressure Transducer 627B Manual
MKS PAR-10 BARATRON
MKS BARATRON 627A-13614 .25 Pa/133.32
MKS Baratron Pressure XDCR, 1350-01153, 750B11TCD2GG
MKS BARATRON 223BD-00100AAB PRESSURE TRANSDUCER TYP 223
MKS Baratron Pressure Transducer 872B12PMD2MT1 100PSIA
MKS BARATRON HEAD UNIT MODEL# 698A12TRA 100 TORR
MKS Model 722A 21TCB3FJ Baratron, 20 TORR Range
MKS Baratron Manometer 100 Torr 622A12TAE new
MKS Baratron Capacitance Manometer 100 Torr 626A12TBE UNITY II
MKS BARATRON 627 PRESSURE TRNSDCER 10 TORR UNITY II
MKS Baratron Pressure Switch 10 Torr-G 41A-15460 NEW
MKS Baratron Single-end Vacuum Switch, 51A11TGA2BA001
MKS BARATRON PRESSURE TRANSDUCER 722A13TCD2FA
MKS BARATRON PRESSURE GAUGE TRANSDUCER 1000 PSI 840B SS
MKS Baratron Manometer Transducer 1000 Torr 626A13TBE
MKS Baratron Single-end Pressure Switch, 51A13TCA1AA999