RYVAC是莱宝公司干式压缩螺杆真空泵品种中的一个新的系列，它根据具体应用可提供各种功能。DRYVAC系列在开发时考虑了光电行业、平板显示和加工工业市场的特殊要求。所有DRYVAC泵型都采用水冷，非常紧凑的外形并且易于与系统组合，尤其是与业经考验的RUVAC WH(U)、 WS(U)和WA(U)系列罗茨泵实现组合。

莱宝干式螺杆真空泵DV450S螺杆原理的优点

由于气体在螺杆泵内的气路短而简单，因此螺杆真空泵对所抽异物相当不敏感。这确保了在工业应用条件下更长的系统正常运行时间。

从泵入口到其排气口之间直而短的气路缩短了气体停留时间，因此减少了泵内潜在沉积物。通过采用吹扫气（例如气镇），可有效除去沉积物、颗粒和冷凝液

适合应用特点的DRYVAC版本说明

DRYVAC DV和DV S对100mbar至大气压段的抽速进行了优化。因此DV和DVS型适合快速抽空应用（如进样室），或大腔室抽空。DRYVAC DV C型在恶劣用途可以提供更高可靠性，其优化的性能适合光电和平 板 显 示 生 产 工 艺 常 用 的 工 艺 气

体。DRYVAC DV C型对氢气具有高抽速，并且由于集成了吹扫气系统，对于粉尘不敏感。DRYVAC的主要特点：设计紧凑、易于布置成水平流的泵组。DV650比市场上同级别产品的功耗低30%。

DRYVAC平台的所有版本可提供不同类型的配置：对于DRYVAC -r，泵的变频器外置，可集成于外部电气柜内；对于其他泵型，变频器集成在泵上。DRY-VAC -i型配置了带有触屏显示器和软件用户界面的PLC，使得操作和配置更加简单。S-i型标配Profibus或24V I/O接口（可根据要求提供其他接口）与系统对接。另外，S-i型安置在有脚轮、高度可调地脚和Harting插座/插头的完整外壳内。

DRYVAC DV 450和DV 650是单台螺杆泵，DV 1200则配备了两个并联运行的螺杆泵。DRYVAC DVR 5000 C-i是DRYVAC -i的特殊版本。该工艺泵由DRYVAC  DV650 C螺杆泵和RUVAC WH 2500罗茨泵组成，整体进行了集成控制。与螺杆泵一样，WH  2500也是由变频器操纵和控制（高100Hz）。泵组对氮气的有效抽速约为3800立方米/小时。

DRYVAC系列设计特点

- 水冷

- *密封的螺杆和罗茨泵，只与外

部形成静密封

- 机械和电气集成简单

- 通过监视运行温度、排气压力和电

流消耗提供集成保护功能

- 占地面积小

- 能耗低，归功于优化的转子线形以

及符合IE2 效率等级要求的创新电机

设计

- 适用电压和频率范围大：380 -

480V，50/ 60Hz

- NRTL认证

- 符合RoHS

典型应用

- 太阳能镀膜（SiN、ZnO、a-Si/µ-

Si、CdTe、CIS/CIGS等）

- 进样室

- 拉单晶/多晶硅铸锭

- 显示器和玻璃镀膜

- 耐磨涂层镀膜

- 带钢镀膜

- 工业炉

- 冶金

- 真空干燥

- 电子束焊接

客户得益

紧凑的螺杆干泵，占用空间小

- 紧凑的螺杆干泵，占用空间小

- 系统集成灵活性非常高

- 噪音低

- 可靠性高

- 集成的自我监控功能

- 无意外停机，维护要求低