8921SC13型美国bird油电射频终止载荷为了最大限度地提高工艺的重复性和一致性,现代等离子体应用需要精确的射频功率调节和控制。射频发生器的校准、调节和监控是确保射频电源准确、可重复地向腔室输送射频电源的关键组成部分。

   当使用像BAN4020系列这样的精密功率传感器时,VSWR目前提供超稳定、低VSWR负载,用于快速和精确地测量发电机输出功率。8921SC13不仅提供低VSWR,而且在过程临界频率下,VSWR的总变化小于0.1分贝。由于校准时间不同,没有必要进行负载热身或重复性风险。这可以最小化与此校准相关的错误,并控制更关键的过程变量之一。

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