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Leybold真空计的量程范围

时间:2017-11-20      阅读:1368

Leybold真空计的量程范围东莞艾科自动化设备关于它的在较高压力时(10~1Pa)利用压力差U型管压力计,麦克劳真空计,薄膜计,弹簧管压力计等 。
在10~10Pa的中间压力范围,利用气体性质(热传导,粘性)的变化而做成的皮氏计、粘性真空计。
在低压力时,使用将气体分子电离而测量的电离真空计。
表2 真空计的适用压力范围 真空计的名称可测的压力范围(Pa)水银压力计(U型管)10~10油压力计(U型管)10~10油压力计(U型管)3*10~1麦克劳真空计(一般型和特殊型) 10~10弹性变形真空计10~10隔膜真空计(机械式)10~10隔膜真空计(电气式)10~10电离真空计(三极管型)10~10超高真空用B-A型10~10*真空用热阴极磁控计10~10高真空用(舒尔茨型)10~10冷阴极真空计1~10皮拉尼真空计10~10热电偶真空计10~10热敏电阻真空计10~10粘性真空计1~10克努曾真空计10-1~10
莱宝真空计TTR91S,莱宝TTR91S真空计,TTR91S莱宝真空计,真空规管,皮拉尼计
Oerlikon真空计
Leybold真空计的量程范围按照Oerlikon真空计测量原理所利用的不同的物理机制,可将主要的真空计分为三大类,分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。
利用力学性能的真空计典型的有波尔登规(Bourdon)和薄膜电容规;利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼(Pirani)电阻规和热电偶规;利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。 如右图所示,细的铜管受气体压力不同会有舒展现象,会带动杠杆和齿轮旋转,使得指针指示在不同刻度上,即可读出相应的气压值。
这种规的测量范围一般在100Pa至1atm。 如右图所示,在不同压力下金属膜片受力不同会有不同尺度的变形,使得金属膜片和电极之间的电容变化,通过测量电容的变化量,即可知道金属膜片上气压的变化。
这种规的测量范围一般横跨4个量级,比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。
这种规的优点是灵敏度很高。缺点是必须在高于环境温度的恒温条件下使用,以消除温度不同对膜片力学性能的影响,使用前一般需要预热数小时。 也叫做热电阻真空计,它是利用电阻与温度之间关系的原理工作的。
如右图所示,由于不同气压下气体分子热传导能力不同,当给热丝加恒定的电流时,由于气压不同通过气体传导走的热量不同,热丝所保持的温度就不同,这导致热丝电阻大小不同,通过测量热丝电阻大小就可以推算气压大小。
如果配合电桥测量热丝电阻的变化,将有效提高测量的准确度。
这种规的测量范围一般在0.1Pa至1000Pa。
由于不同气体在相同气压时导热性不同,所以这种规需要在不同的使用气体下标定。 如右图所示,热电偶规与皮拉尼电阻规基本原理一致,只是它不用测量热丝电阻的变化,而是用热电偶直接测量热比的温度变化。
测量范围一般与在0.1Pa至1000Pa。
与皮拉尼电阻规一样,这种规也需要在不同的使用气体下标定。 如右图所示,热阴极电离规中,由热阴极即灯丝发射电子,电离真空中的气体分子,产生离子,由收集极收集产生的离子,形成离子电流,通过测量离子电流的大小即可推算出真空中气体分子的密度,进而得到气压大小。
Leybold真空计的量程范围德国莱宝真空计有:
- 用于测量粗真空的各种工作原理的机械指针式真空表。
- 各种间接测量的数显真空规,它们是:
- 热电阻真空规(皮拉尼规) TTR91、TTR91S、TTR96、TTR96S
- 冷阴极电离真空规(潘宁规) PTR225
- 薄膜电容规 CTR100、CTR91
- 薄膜/皮拉尼复合规 TTR100、TTR100S
- 冷阴极电离/皮拉尼复合规 PTR90
- 热阴极电离/皮拉尼复合规 ITR90
- 便携式真空表TM90、TM100
- 新型Center和Display系列真空计

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