当前金属原料板材经裁剪（或打磨）、化学清洗及干燥处理后，存放于真空度较低（约100Pa）的真空储存柜，仍不可避免地带来碳、氧、氮等杂质元素的吸附污染。金属材料全自动高真空贮存柜主要用于合金原材料的高真空贮存。

高真空储存柜为非标工艺设备，主要原理为真空干燥箱类似抽真空，主要由进样室、储样室、传送装置、计算机自动识别与控制等部分组成。

   高真空储存柜技术要求与指标

   1、进样室

进样室为单腔室，主要材质为不锈钢（304或同等以上不锈钢），腔室内表面光洁度要求小于等于Ra0.8，零件加工工艺、部件装配工艺严格按照真空规范执行，保证进样室具有高真空度、高清洁度。具有自动放气功能，并带有正压保护阀。

进样室包括：快速进样法兰，视窗，传送装置，样品托盘，分子泵，干泵，真空规，放气装置，照明装置。极限真空度：空载、干燥、室温下30分钟内达到10^-4 Pa，漏率小于1×10^-11 Pa·m³/s。

阀门至少包括4个，包括分子泵连接进样室、进样室连接储样室（为气动插板阀）、放气阀、漏阀。泵包括1个分子泵和1个干泵，泵组的抽速需要满足同时给进样室和储样室抽真空的要求。

    2、储样室

储样室为单腔室，主要材质为不锈钢（304或同等以上不锈钢），腔室内表面光洁度要求小于等于Ra0.8，零件加工工艺、部件装配工艺严格按照真空规范执行，保证储样室具有高真空度、高清洁度。

储样室包括：连接进样室法兰，快开门法兰和视窗，存样装置，离子泵，真空规，照明装置。极限真空度：空载、干燥、室温下≤5´10^-6 Pa；漏率：<1´10^-11 Pa.m³/s；空载静态保压：关闭抽气设备12小时后静态真空≤5×10^-2 Pa；存、取放样品时，储样室不暴露大气；保留快开门方便储样室内部维护和清理；储样室可存放金属原材料总重量不低于6 kg。

阀门至少包括1个，包括离子泵连接储样室。泵包括1个离子泵，离子泵的规格需要满足储样室抽真空的要求，离子泵带钛升华泵，自带加热功能及配套电源。

    3、 传送装置及计算机控制系统

单个样品托盘可装载金属原材料重量约为300g；

控制系统模块化设计，可实现PLC自动控制真空泵机组抽真空、机械传送装置在进样室与储样室间进样与取样、储样室样品架升降旋转、进样室放气等全自动过程，采用真空、位置等参数反馈控制上述动作，无需人为干涉；

可任意查询某批样品的位置和数量；

可视化仿真软件显示与控制，实时显示进样室和储样室真空度、温度等信息；

系统应与甲方的上位控制系统进行通讯，数据应采集至上位控制系统中，通讯接口及协议应满足甲方的接口规范。

金属材料全自动高真空贮存柜的技术要求列于表1中。

表1 详细技术指标