ST2258A多功能数字式四探针测试仪适用于半导体材料厂器件厂
时间:2021-09-10 阅读:1340
ST2258A多功能数字式四探针测试仪
ST2258A型多功能数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》并参考美国 A.S.T.M 标准。
仪器成套组成:由主机、选配的四探针探头、测试台等部分组成。
主机主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式单片机系统组成。仪器所有参数设定、功能转换全部采用数字化键盘输入;具有零位、满度自校功能;电压电流全自动转换量程;测试结果由数字表头直接显示。本测试仪特赠设测试结果分类功能,最大分类10类。
探头选配:根据不同材料特性需要,探头可有多款选配。有高耐磨碳化钨探针探头,以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻;也有球形镀金铜合金探针探头,可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜(ITO膜)或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。换上四端子测试夹具,还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。配专用探头,也可测试电池极片等箔上涂层电阻率方阻。
测试台选配:一般四探针法测试电阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型测试台。二探针法测试电阻率测试选SZT-K型测试台,也可选配SZT-D型测试台以测试半导体粉末电阻率,选配SZT-G型测试台测试橡塑材料电阻率。
仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、结构紧凑、使用简便等特点。
仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试。
三、基本技术参数
1. 测量范围、分辨率(可向下拓展1~3个数量级,括号内为向下拓展3个数量级)
电 阻:1.0×10-3 ~ 200.0×105 Ω, 分辨率0.1×10-3 ~ 0.1×104 Ω
(1.0×10-6 ~ 200.0×102 Ω, 分辨率0.1×10-6 ~ 0.1×102 Ω)
电 阻 率:1.0×10-3 ~ 200.0×103 Ω-cm 分辨率0.1×10-3 ~ 0.1×103 Ω-cm
(1.0×10-6 ~ 200.0×101 Ω-cm 分辨率0.1×10-6 ~ 0.1×101 Ω-cm)
方块电阻:5.0×10-3 ~ 100.0×104 Ω/□ 分辨率0.5×10-3 ~ 0.1×103 Ω/□
(5.0×10-6 ~ 100.0×101 Ω/□ 分辨率0.5×10-6 ~ 0.1×101 Ω/□)
2. 材料尺寸(由选配测试台和测试方式决定)
直 径: SZT-A圆测试台直接测试方式 Φ15~130mm,手持方式不限
SZT-B/C/F方测试台直接测试方式180mm×180mm,手持方式不限.
长(高)度: 测试台直接测试方式 H≤100mm, 手持方式不限.
测量方位: 轴向、径向均可
3. 量程划分及误差等级
满度显示 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 |
常规量程 | kΩ-cm/□ | Ω-cm/□ | mΩ-cm/□ | ||||
最大拓展量程 | Ω-cm/□ | mΩ-cm/□ | μΩ-cm/□ | ||||
基本误差 | ±2%FSB ±4LSB | ±1.5%FSB ±4LSB | ±0.5%FSB±2LSB | ±0.5%FSB ±4LSB |
4) 工作电源:220V±10%, f=50Hz±4%,PW≤5W
5) 外形尺寸:W×H×L=215mm×85mm×190mm
净 重:≤1.5~2.0kg