加野0.1μm级超小型粒子计数器为芯片制造保驾护航
时间:2021-09-19 阅读:1371
加野0.1μm级超小型粒子计数器为芯片制造保驾护航
2020年9月15日,美国禁止为华为提供5G芯片,也不准用机器为华为生产5G芯片,导致华为空有一身强悍技术,却因为光刻机等原因缺芯少魂,无处施展。美国采取“断供”的方式已对中国59家企业实施“制裁”,如果这一批科技产业链*们倒下,中国的全产业链升级、中国制造大升级将*失败,绝非危言耸听。
国人当自强!光刻机、光刻胶、芯片研发等全产业链的所有生产、技术都要自主研发,12寸晶圆、光掩膜、EUV光源、透镜等都要自己制造,芯片自主化生产之路已成必然趋势。
由于芯片制造工艺及封装等生产流程极其复杂,对生产环境的净化要求*,必须禁止因粉尘颗粒、工艺偏差等因素造成晶体短路或断路,控制净化环境下的作业现场中超微小颗粒物数量至关重要、b不可少!
KANOMAX公司推出的超小型粒子计数器3950,同时监测0.1μm和0.3μm的单位体积内的微小粒子个数,也可作为传感器嵌入生产设备实时监测作业现场的超微粒子,为净化作业环境的洁净度评定提供依据,为芯片制造保驾护航!
Kanomax颠f性的技术革新,超小型粒子计数器MODEL 3950,不仅将经典品质传承,而且w美实现了嵌入组装在半导体制造等装置中,致轻、致小,采样量2.83L/min,同时测试0.1μm、0.3μm微小粒子,4.3英寸彩色触摸显示屏,可使用附带软件在PC上显示测试数据。设有RS-485、Ethernet、USB通讯接口。
通过超小型化的设计,使0.1μm级粒子计数器可嵌入装备使用。
应用范围:
作为传感器嵌入到设备装置中
洁净室的清洁度管理
高清洁度区域的管理
品 名 | 尘埃粒子计数器 | |
型 号 | 3950-00 | |
粒子测量 | 测试方法 | 光散射法 |
粒径通道 | 2粒径(0.1、0.3μm) | |
额定流量 | 0.1CFM(2.83L/分)、精度±5%、(符合JIS B9921和ISO21501-4) | |
测量时间 | 6秒~99分59秒(1次测量时间) | |
间隔时间 | 6秒~99分59秒(测量周期) | |
采样次数 | 1~999次 或 连续测试 | |
地点设定 | 99个地点 | |
测量方式 | 重复、单次、连续、计算 | |
测量数据显示时间 | 1~10秒 | |
测量数据显示 | 累计值∑ 差分值△及柱形图 | |
最大可测浓度 | 10,000,000个/m³ | |
计数效率 | 50±20%(相对于最小可测粒径附近的PSL粒子) 100±10%(相对于最小可测粒径的1.5倍~2倍的PSL粒子) (符合JIS B9921 和 ISO21501-4) | |
伪 计 数 | <1个/35min | |
粒径分辨率 | 15%以下(相对0.3μm的PSL粒子) (符合JIS B9921 和 ISO21501-4) | |
气 源 | 内置泵 | |
显示器 | 4.3英寸彩色液晶 触摸屏 | |
通迅功能 | 本 体 | USB(Host用于打印机、USB存储;Device用于与PC链接) Ethernet、RS485(9600、19200、38400 baud) |
数据存储 | 媒 体 | 内存 |
数量、格式 | 最大10,000个、CSV格式 | |
显示语言 | 英文、日语 | |
电 源 | AC100~240V | |
使用环境 | 本 体 | 15~35℃、0~85%RH (无结露) |
外形尺寸 | W150 X H163 X D228 mm | |
重 量 | 3.4kg |
Kanomax超小型粒子计数器3950自推出以来好评不断,广泛应用于半导体、生物制药、食品卫生、空调净化、精密机械等众多行业测试领域。