SECM扫描系统有哪些特点?
时间:2020-10-16 阅读:607
SECM 150 是一款价格低、分辨率高(<10 nm)、体积小的扫描系统,其小体积的特点尤其适用于手套箱工作。压电定位器搭载电容位置传感器,可以在整个扫描范围内提供10nm 的分辨率。集成的双恒电位仪,可以测量超低电流,分辨率达到6.1 fA。
(1)如此紧凑,适用于手套箱!
实验室空间经常受限,尤其当实验需要严格的空气气氛控制时,对实验仪器的体积大小也有严格的要求。SECM150的设计尽可能紧凑,同时保持了高性能。其重量只有8kg,其尺寸适用于像手套箱一样狭小的环境。比如,PU51恒电位仪只有10cm长,61g重。其扫描台的尺寸也只有190*225*230mm。SECM150是目前市面上体积小的SECM设备。
(2)超高分辨率<10nm扫描分辨率
SECM150的探针位置由3个压电扫描平台控制,扫描范围为200*200*100μm。每个坐标轴上的位置分辨率都低于10nm。Bio-Logic Pt超微探针有很多不同的尺寸,小1μm。但是SECM150可以适用任何材料的更小的探针。恒电位仪具有较高的电流范围灵敏度100pA,分辨率6.1fA。SECM150的超高分辨率几乎可以满足所有的SECM测试。
(3)快速扫描
SECM150在测试过程中,每秒扫描可达20个离散点。这种快速扫描仪器可以用来研究时间变量系统。其扫描速率可达200μm/s。