（1）送风温差偏大，需加大送风量。
（2）送风不均勻，这主要可能是送风管道设计缺陷，造成阻力不均衡，或者进风口布置不当，亦或是回风口布置不合理。
（3）末端加热器处测点和室内取样点处的测量仪器探头精度不能满足要求，一般测量仪器探头的精度为所要检测温度精度值的1/5。
（4）执行机构反应速度太慢以及末端加热器选择不合适。
3、夏季相对湿度检测偏高问题
洁净室在检测相对湿度时，尤其是夏季偏高问题，可能是因为表冷器空调冷冻水供水温度偏高。不能满足空调冷冻水回水温度低于空气处理的机器露点0.7°C以上的热力学要求。或者是表冷器换热效果差，产生结垢、结构缺陷、换热面积不足，设计缺陷可能是将—二级表冷系统设计成一级表冷系统等。此外也可能是除湿方法选择不当造成，当相对湿度<40%时，冷冻去湿已不能满足要求，需采用化学去湿。
4、冬季湿度偏低问题
洁净室在冬季检测相对湿度产生偏低问题，可能是因为加湿器选型错误，这主要可能是热力学工况为等温加湿型选成等焓加湿型 。采用水加湿（等焓加湿）方法时，加湿前空气要加热到30C以上，方能完成加湿目的。或者加湿器失灵，失灵原因可能是结水垢、电气故障等原因。
5、不能顺利建立压力梯度问题
在压差检测项目中，不能顺利建立压力梯度。这可能是风量不平衡造成的，具体原因可能是系统风阀工作不正常；系统漏风量过大；新风量不足；排风系统工作不稳定等。也可能是设计缺陷，分析原因有检测难定压差调节“零压点”；零压点”位置选择不合适，零点稳不住，波动太大等原因。此外负压洁净室的进出口未设缓冲间也可能造成压力梯度不能顺利建立。
6、洁净度不达标问题
洁净度不达标，可能是净化风量不够，分析原因可能是单向流空气过滤器出口断面风速偏小，非单向流换气次数太少。也可能是空气过滤器少装、堵塞、渗漏，这些我们可以通过扫描”诊断 。还有末端过滤器效果有问题，看看是不是高效过滤器 。此外回风有问题可能造成洁净度不达标，分析原因为回风口设置位置不合理，各点回风阻力偏差太大设计弊端导致气流组织失调。这就需要调整架空地板开孔率。如果洁净室内正压不足，甚至出现负压，包括进出洁净室人员都可能对洁净度产生影响。
7、气流方向与竖向夹角超过1°问题
在单向流检测项目中，遇到气流方向与竖向夹角超过1°时，可能是回风阻力不均勻造成的，分析原因为：回风口总面积不够；回风口布置不合理；高架地板开孔面积不够或与送风量不匹配；高架地板净空太低等。此外流速不均匀也会造成这种现象。原因可能为气过滤器布置缺陷、自身结构缺陷及滤材质量问题造成气流组织混乱，局部产生素流。此外，工艺设备布置或发热设备热气流也会对检测结果产生影响。
8、噪声超标问题
噪声超标，可能是风管太小，以致气流速度过高，气流产生噪声，通常工作面高度气流速度控制在0.25m/s左右的。我们还可分析消声系统问题，如未装消声器、劣质消声器、送风系统消声器配置不合理。也可能为FFU单机噪声偏高。或者是环境背景噪声影响，如工艺设备噪声、气体管道阀门泄漏、动力设施噪声源传播等。此外， 我们还可以考虑可能是标准指标不合适：通常控制值单向流<65dB(A)，非单向流<60dB(A)。9、照度不达标问题
照度不达标，可能是灯具配置不到位，造成照度低，或者是技术标准指标值偏高，比如电子工厂黄光区指标就会过高。
造成洁净室检测项目不达标，检测项目偏离目标值的原因肯定多方面的。这就需要检测机构必须具有高度专业知识储备，合理选配检测仪器，丰富的检测经验。而我们在考虑分析不达标的原因时，需要从计和施工弊端、设备和系统的缺陷、检测作业失误、人员影响、检测仪器问题等等，进行综合性的分析，找到问题所在，进行解决。