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设备单工位大口径快速退火炉特点：
该款设备是由单端封口小型红外滑轨炉、 电机调速装置、高真空机组、进出气口及操作控制界面组成，内控热电偶用于控制RTP滑轨炉内的温度，伺服电机用于控制丝杆的转动速度达到精确控制炉管（样品）移除炉膛的速度，从而用于调节炉管（样品）的降温速度，与之相反可以得到较快的升温速率；出气口通过连接手动挡板阀、波纹管用于对石英舱体内的真空获取，进气口除用于通入保护气体或反应气体外，还可以用于移出炉膛后通入气体带走热量的快速降温，以此获得较高的降温速率。
单工位大口径快速退火炉结构与原理：
设备组成：单端封口小型红外滑轨炉、 电机调速装置、高真空机组、流量控制系统及工控电脑操作系统。
1、单端封口小型红外滑轨炉：
该加热系统采用先进制造工艺，造型新颖结构合理，炉体炉管可实现自动分离，炉体上下两半设计，气动弹簧支撑结构让操作者可各角度自由打开，安全可靠。炉胆采用高密度纯氧化铝聚轻纤维材料真空吸附成型，表面涂覆高反射率的超高温保护涂层，除能够保持其能量的低损耗，还能增强高温稳定性，可有效减少热能损耗。
该滑轨炉加热系统由红外灯管加热，采用内插热电偶控温的方式实时显示石英腔体内部温度，加热区长度为370mm，恒温区长度200mm，确保两个φ100*100mm的夹具可放置在恒温区内，为让样品在炉管内的中心位置，考虑石英置物架的高度，石英管管径综合考虑在210mm，恒温区200mm内的温场均匀性控制在±5℃，升温速率≤30℃/s, 整个石英腔体直接划出炉膛，样品降温过程可在通入一定量保护气体的条件下快速降温，平均降温速率可达到2℃/s， 试样反应区处在一个密闭的石英腔体内，在完成工艺的同时大大降低了间接污染试样的可能性。采用石英管堵维持炉内的温场均匀性及石英舱体内的洁净度。
2、电机调速装置：
伺服电机调速装置用于控制丝杆的转动速度，达到控制炉管部分的整体移动速度（含样件），以此调整快速升降温的目标速率，电机旋转速度实时显示并且精确可控，以获得精确的移动速度，满足降温时工艺参数要求。
3、主要参数
加热系统 | |
供电电源 | 220V，50Hz |
额定功率 | 10KW |
石英管尺寸 | Φ210*370mm（炉管直径可根据实际需要定制。） |
炉膛材料 | 氧化铝、高温纤维制品 |
加热原件 | 电阻丝 |
控温精度 | ±5℃ |
热电偶类型 | K型热电偶（内插） |
控制方式 | 该系统人机界面+PLC控制，10寸液晶屏显，显示器可直接显示真空度、气体流量、热电偶温度、电机旋转速度等信息。 |
气路系统 | |
标准量程（N2) | 1000sccm（可根据用户要求定制） |
准确度 | ±1.5% |
线性 | ±0.5～1.5% |
重复精度 | ±0.2% |
响应时间 | 气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec |
工作压差范围 | 0.1～0.5 MPa |
最大压力 | 3MPa |
接口 | Φ6,1/4'' |
工作环境温度 | 5~45高纯气体 |
真空系统 | |
机械泵 | 抽气速率：4L/S 容油量：1.1L 电机功率：400W~ 极限压强：6×10-2Pa |
分子泵 | 抽气速率：100L/S 极限压强：1×10-4Pa 启动时间：＜2min 额定转速：4300转/分 冷却方式：环境温度5-32℃时，风冷；5-40℃时看，水冷。 |
分子泵控制器 | 电压：220V±22V 启动电流：≤7A 输入频率：47HZ—63HZ 最大输出功率：≤150W 最大加速电压：≤40V 加速时间：≤3min 频率（双速）：高速705HZ±10HZ 低速430HZ±5HZ |
复合真空计 | 测量路数：2路（电阻规、电离规各1路） 工作模式：手动/自动 电阻单元参数 规管型号：ZJ-52T电阻规 测量范围：1.0×105Pa~1.0×10-1Pa 有效范围：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 控制范围：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 电离单元参数 规管型号：ZJ-27电离规 可测范围：5.0Pa~1.0×10-5Pa 有效范围：1.0Pa~5.0×10-5Pa 控制范围：1.0Pa~5.0×10-5Pa 规管除气方式：焦耳去气 其他参数 控制路数：4路 控制方式：点动或区域控制/带掉电记忆 控制精度：±1% 采样时间：1S 电源：220V±10% 50HZ 功耗：50W 使用环境温度：0℃~45℃ 湿度：≤85% |
连接管路 | 采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于1.0×10-9Pa.m3/s |
