产品简介
小型滑轨式PECVD系统本设备主要针对实验中试石墨烯生长和制备使用,同时该设备可以用于碳纳米管的生长。可制备出高质量的透明导电膜,用作手机触摸屏,平板电脑,智能穿戴,传感器等领域。
详细介绍
小型滑轨式PECVD系统本设备主要针对实验中试石墨烯生长和制备使用,同时该设备可以用于碳纳米管的生长。可制备出高质量的透明导电膜,用作手机触摸屏,平板电脑,智能穿戴,传感器等领域。
滑轨式PECVD加热腔体采用氧化铝纤维制品,其极低的热导率和比热容,保证了炉膛的快速升温和低蓄热,特别适合于科研单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热,有利于炉内温度场的均匀分布。高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统,控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温,电力调制器控制;负载采用小电压大电流控制,从而大大提高了发热元件的寿命,测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数,无须操作人员的干预,可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号,同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能,大大降低了对操作人员经验的要求,关键电气元件采用优质的进口产品,做到高性能、免维护,提高了设备质量的可靠性。 |
1、加热系统 最高温度 | 1200℃ | 使用温度 | ≤1100℃ | 炉膛有效尺寸 | Φ100mm(适用于2-3英寸样品,炉管直径可根据实际需要定制。) | 炉膛材料 | 氧化铝、高温纤维制品 | 热电偶类型 | K型热电偶 | 控温精度 | ±1℃ | 控温方式 | 30段可编程控温,PID参数自整定,操作界面为7”工控电脑,内置PLC控制程序。 | 加热长度 | 230mm | 恒温长度 | 100mm | 加热原件 | 电阻丝 | 供电电源 | 单相,220V,50Hz |
2、PE射频电源 功率输出范围 | 0W~500W | 最大反射功率 | 100W | 射频输出接口 | 50 Ω, N-type, female | 功率稳定度 | ≤5W | 谐波分量 | ≤-50dbc | 供电电压 | 单相交流(187V-253V) 频率50/60HZ | 整机效率 | >=70% | 功率因素 | >=90% | 冷却方式 | 强制风冷 |
3、三路质子流量控制系统 连接头类型 | 双卡套不锈钢接头 | 标准量程(N2) | 50sccm,100sccm、500sccm(可根据用户要求定制) | 准确度 | ±1.5%F.S | 线性 | ±1%F.S | 重复精度 | ±0.2%F.S | 响应时间 | 气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec | 工作压差范围 | 0.1~0.5 MPa | 最大压力 | 3MPa | 接口 | Φ6,1/4'' | 显示 | 4位数字显示 | 工作环境温度 | 5~45高纯气体 | 压力真空表 | -0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 | 截止阀 | Φ6 | 内外双抛不锈钢管 | Φ6 |
4、低真空机组
空气相对湿度 | ≤85% | 工作环境 | 5℃~40℃ | 工作电电压 | 220V±10% 50~60HZ | 功率 | 1KW | 抽气速率 | 10m³/h | 极限真空 | 5X10-1Pa | 工作压力范围 | 1.01325X105~1.33X10-2Pa | 耐压值 | 0.03MPa | 容油量 | 1.1L | 进气口口径 | KF25 | 排气口口径 | KF25 | 噪音 | 50dB | 连接方式 | 采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连 |
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