一、一种用于机械工程领域的计量仪器，主要功能测量并检验光束线机械部件的直线与角等线性位移量的精度、分辨率和重复精度；测量并检验光束线机械部件的直线度、平行度等形状和定向公差。
 

　　二、技术指标：
 

　　1、直线位移测量：测量范围：0～40米测量精度：±1.5ppm(20°±0.5°)；±1.7ppm(15～25°)；±3.0ppm(0～40°)分辨率：10nm(标准值)；1nm(均值)最高测量速度：±0.7m/s；
 

　　2、角位移测量：测量范围：±10°(绕光学基准旋转)；测量精度：±0.2%测量值；
 

　　3、平面度测量测量范围：0～15m测量精度：±0.2%测量值。
 

　　三、原理介绍：动态校准仪(高配)是基于质量流量计控制流量配比稀释钢瓶标气nmol/mol～μmol/mol(ppb～ppm)级的标气,基本单元为两个高精确度的质量流量控制器,臭氧发生器、臭氧光度计。光度计测量的基本原理是Beer-Lambert关系式,在给定温度、压力下,一定光程内一定浓度气体对特定波长的光强的吸收。
 

　　四、应用：动态气体校准仪可以提供浓度的各种气体。这些不同浓度的气体被用来对各种测量仪器进行校准，包括校零，精密度检查，单点检查，审核及多点检查。所有1046的组件(包括质量流量控制器，O3发生器，电源，电磁阀)一直以来都被用于仪器校准，并以其准确性和可靠性而称。