尼康干涉物镜10X/20X/50X应用

用于半导体

精密仪器

电子和航空等领域

尼康CF PLan 50X DI参数

数值孔径 0.55

工作距离（mm） 3.4

焦距（mm） 4

分辨率（μm） 0.5

景深（μm） 0.9

视场(mm) 目镜，直径25视场 0.5

目镜，直径20视场0.4

2/3"传感器 (H x V) 0.18 x 0.13

½"传感器 (H x V) 0.13 x 0.10

其它 可调干涉物镜

物镜是显微镜最重要的光学部件，利用光线使被检物体第一次成像，因而直接关系和影响着成像的质量和各项光学技术参数，是衡量是台显微镜质量的首要标准。

物镜的结构复杂，制作精密，由于对像差原校正，在金属的物镜筒内由相隔一定距离并被固定的透镜组组合而成。每组透镜又由不同的材料、不同参数的一至数块透镜胶合在一起。物镜最前面的透镜称“前透镜”，最后面的透镜称“后透镜”，物镜复合透镜组的总焦距为物镜的焦距。物镜前透镜与被检物体之间的距离为工作距离（自由工作距离）。在高倍镜检时，为了防止物镜与制片的相触、压碎玻片和损伤镜头，除物镜的先端有弹簧装置外，还应使整套物镜由低倍至高倍必须齐焦。

齐焦即是在镜检时，当用某一倍率的物镜观察图象清晰后，在转换另一倍率的物镜时，其成象亦应基本清晰，而且象的中心偏离也应在一定允许的范围内，也就是合轴程度。齐焦性能的优劣和合轴程度的高低是显微镜质量的一个重要标志，它是与物镜的本身质量和物镜转换器的精度有关。优质的显微镜都是合轴、齐焦的。

物镜种类很多，可从不同的角度来进行分类，现分别述之。

根据物镜前透镜与盖玻片之间的介质不同，可分为：

（一） 系物镜：镜检时，物镜前透镜与盖玻片之间是以空气（η=1）为介质的。这类物镜最为常用，如40X以下的物镜，数值孔径值均小于1。

（二） 水浸系物镜：镜检时，物镜前透镜与盖玻片之间是以水（η=1.333）为介质的。水为蒸馏水，这类物镜目前很少应用。

（三） 油浸系物镜：即油镜头，其放大率为90-100X。镜检时，物镜前透镜与盖玻片之间常以香柏油、无荧光油（η=1.515左右）为介质的。此外，有时还用甘油（η=1.450）、石蜡（η=1.471）为介质。该类物镜的外壳上常标刻有“oil”、“IL”或“HI”字样。

上述水浸与油浸系物镜所应用的介质均为液体物质，所以又称为“浸液系物镜”，数值孔径值可大于1。

油镜在使用后必须立即擦拭，不能久置，否则将有损镜头使解象力下降，而且浸油在干涸后也不易擦拭。擦拭是脱脂棉球蘸少量的洒精混合液轻轻擦去浸油，再用脱脂棉球或镜头纸轻擦一次。

根据物镜放大率的高低，原则上可分为：

（一） 低倍物镜：1X-6X，NA0.04-0.15；

（二） 中倍物镜：6X-25X，NA0.15-0.40；

（三） 高倍物镜：25X-63X，NA0.35-0.95；

（四） 油浸物镜：90X-100X;NA1.25-1.40。

   根据物镜象差校正的程度来进行分类，这对我们使用者来说，是应于了解的一个分类方法，现分述于下：

（一） 消色差物镜（Achromatic objective）：这是常见的物镜，外壳上常有“Ach“字样，

其结构比较简单，由两片透镜胶合和两片以上透镜组成。

这类物镜仅能校正轴上点的位置色差和球差以及消除近轴点慧差。由于玻璃材料等原

因，不能校正其它色光的色差和球差，而且场曲很大，故不能应用于高级研究的镜检和显微照相。镜检时，通常与惠更斯目镜配合使用。

（二） 复消色差物镜（Apochromatic objective）：复消色差物镜的结构复杂，透镜采用

了特种玻璃或荧石、氟石等材料制作而成，物镜的外壳上标有“APO”字样。这种物镜不仅能校正红、绿、蓝天三色光的色差，而且在同一焦点平面上造象，达到消除“剩余色差“（又称二级光谱）的效果，同时能较好地校正红、蓝二色光的球差。由于对各种象差的校正极为完善，比相应倍率的消色差物镜有更大的数值孔径，这样不仅分辨率高、象质优，而且也有更高的有效放大率。因此，复消然差物镜的性能很高，适用于高级研究镜检和显微照相之用。镜检时应与补尝目镜配合使用，否则图象质量下隆。

（三） 半复消色差物镜（Semi apochromatic objective）：半复消色差物镜又名氟石物镜

物镜的外壳上常标有“FL”字样。在结构上透镜的数目比消色差物镜多，比复消色差物镜少；在成象质量上，远较消色差物镜为好，接近于复消色差物镜，能校正红、蓝二色光的色差及球差。镜检时也应与补偿目镜配合使用。

（四） 平场物镜（Plan objective）：平场物镜是在物镜透镜系统中增加一块半月形的厚

透镜，以达到校正场曲的缺陷。平场物镜的结构较为复杂，尤以高倍平场物镜更为复杂。平场物镜的视场平坦、视场较大， 且工作距离也相应地有所增长。因此，更适用于镜检和显微照相之用。

   平场物镜有：平场消色差物镜在镜头的外壳上标有Plan Ach：平场复消色差物镜在镜头外壳上标有Plan APO以及平场半复消色差物镜，更为高级的为超平场物镜和超平场复消色差物镜。