真空干燥箱专门为干燥热敏性、易分解和易氧化物质而设计，能够向内部充入惰性气体，特别是一些成分复杂的物品也能进行快速干燥，广泛应用于电子和化工行业。一般的电热（鼓风）干燥箱均设有温度均匀度参数，自然对流式的干燥箱为工作温度上限乘3%，强制对流式的干燥箱为工作温度上限乘2.5%。

    真空干燥箱内依靠气体分子运动使工作室温度达到均匀的可能性几乎已经没有了，因，从概念上我们就不能再把通常电热鼓风干燥箱所规定的温度均匀度定义用到真空干燥箱上来。在真空状态下设这个指标也是没有意义的，热辐射的量与距离的平方成反比，同一个物体，距离加热壁20cm处所接受的辐射热只是距离加热壁10cm处的1/4，差异很大。由于真空干燥箱在结构上很难做到使工作室三维空间内的各点辐射热的均匀一致，同时也缺乏的评估方法，这有可能是电热真空干燥箱标准中不设温度均匀度参数的原因。