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【产品简介】
【详细说明】
普发分子泵 HiPace 1200-2300系列涡轮分子泵可以倒装安装，经过实践证明的轴承技术确保了其的可靠性。成熟*的转子设计使其具有更出色的抽速，更好的前级泵兼容性和更大的气流量，对于小分子气体具有更高的压缩比。集成可靠的智能传感器系统，HiPace系统当仁不让的成为市场上安全性能非常好的产品。
普发分子泵 产品优势：
从1000-2000L/S提供四个抽速等级
对于小分子量气体（H2 He），和大分子量气体（Ar、CF4）都有很高的抽速
即便对大分子量气体（Ar，CF4)也有很高的气流量
安装角度可选0°-90°和90°-180°
有抗腐蚀性气体型号可选（C型号）
带节流阀和阀门的集成净化气体系统
电压范围：90-265V
界面接口：RS-485，远程控制；Profibus和DeviceNet可选
获得SEMI S2，UL,CSA和TUV认证
防护等级IP54符合工业环境应用要求
大可能的符合各种工艺流程，能够忍受颗粒物
普发分子泵应用领域：
半导体
真空炉
质朴分析
镀膜、研发
工业检漏
普发分子泵 系列型号：
HiPace 1200
HiPace 1500
HiPace 1800
HiPace 2300