三为科学光刻胶高压计量泵是采用氟流路设计的高压计量泵，输液液体粘度可以达到1000厘泊（cP），高精度无脉冲连续供胶，可以用于涂胶显影机中输送光刻胶，sanotac光刻胶高压计量泵还具有：在线流量和压力变化曲线、客户端流量校正，按体积输送功能和按重量输送功能，Modbus协议，232/485，PLC模拟量输入：0—5V , 4—20 mA；流量精度高、压力脉冲低，重复性好，质量优异。

技术特点：

1，  压力保护设定：可设置压力上限和压力下限；

2，  压力脉冲低 ， 采用凸轮曲线补偿和流量脉冲电子抑制技术；

3，  流速单位切换：按体积输送ml/min和按质量输送g/min；

4，  流量校准：提供用户参数区用于校准泵的流速，满足不同系统工况需求；

5，  流量控制程序： 提供两种运行程序，恒流运行和梯度运行；

6，  压力曲线显示：各设备分别显示当前压力曲线，直观判断设备运行状况；

7，  流量曲线显示：各设备分别显示当前运行的流量曲线；

8，  支持RS-232，RS-485，RS-422；Modbus RTU和 ASCII协议；

9， 一对多控制，单泵操作和多元梯度操作自由选择，可扩展1对32操作；

10， 运行数据保存：开启或停止数据记录，将压力曲线和流量曲线保存至Excel格式文件中。

11， 设置方法保存：保存运行参数设置，如串口端口参数，压力保护值，流量控制程序等。

12， 可以实现流体入口天平减重系统的闭环控制（根据客户天平规格定制）。

高粘度高压柱塞泵产品参数：