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摘要 高速光开关及光开关阵列是全光交换的核心器件. 首先给出全内反射型光波导光开关器

件的理论分析模型, 并基于GaAs 材料中的载流子注入效应, 采用GaAs-AlGaAs 双异质结结构,研制了工作波长在1.55 μm 的X 结全内反射型和马赫曾德干涉型两种结构的光开关. 测试结果表明, 开关的消光比均超过20 dB, 开关速度达到10 ns 量级.

关键词：光开关，全内反射，多模干涉，载流子注入