SF6气体检漏仪的灵敏度、反应时间及恢复时间是卤素检漏仪的主要性能参数，其测试方法与氦质谱检漏仪的相同。但是，SF6气体检漏仪的指示与气体的浓度有关：一般，低浓度的指示是线性的，中等浓度的是非线性的，而当浓度很高时仪器出现饱和或中毒现象。所以在进行性能测试或检漏时，进进传感器的卤素气体的浓度不宜高于百万分之一。使离子在进进第二个分析器前再次被加速。那些与氦离子动量相同的非氦离子，固然可以通过*个分析器，但是，经第二次加速进进第二个分析器后，由于其动量与氦离子的不同而被分离出来。由于二次分离，仪器本底及本底噪声明显地减小，进步了仪器灵敏度。

    SF6气体检漏仪的工作方式是电源带动气泵对待测区域的气体进行抽气采样，然后将样气送入仪表进行检测。分析仪的特点是检测速度快，对现对危险的区域可进行远距离测量，维护人员安全，其它和气体检测仪一样。在工业装置上和生产过程中使用较多的检测仪。记录仪它可以安装在特定的检测点上对特定的气体泄漏进行检测。固定式检测器一般为两体式，有传感器和变送器组成的检测头为一体，安装在检测现场，有电路、电源和显示报警装置组成的二次仪表为一体安装在安全场所，这样便于监视。 漏点预定位是指听漏棒、电子听漏仪及噪声自动记录仪来探测供水管道漏水的方法，根据使用SF6气体检漏仪的不同，预定位技术主要有阀栓听音法和噪声自动监测法。特别适用于环境干扰噪声大、管道埋设太深或不适宜用地面听漏法的区域，用相关仪可快速准确地测出地下管道漏水点的*位置。