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heidenhain光栅尺敞开式工作原理

时间:2013-12-18      阅读:2194

heidenhain光栅尺敞开式工作原理

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海德汉公司的光学扫描型光栅尺或编码器的测量标准都是周期刻线-光栅尺。这些光栅刻在玻璃或钢材基体上。大长度测量用的光栅尺基本为钢带。这些精密光栅通过多种光刻工艺制造。光栅的制造方式有:在玻璃上镀硬铬线;在镀金钢带上蚀刻线条;在玻璃或钢材基体上蚀刻三维结构图案。
海德汉公司开发的光刻工艺生产的光栅的典型栅距从40μ到1μ以下,这些光刻工艺制作的光栅栅距非常小,而且线条边缘清晰和均匀,再加上光电扫描法,这些边缘清晰的刻线是输出高质量信号的关键,而且母版光栅采用海德汉公司制定的精密刻线机制造。
【海德汉光栅尺-光栅尺的相关知识】
决定直线光栅尺测量精度的主要因素:
光栅质量
扫描质量
信号处理电路质量
1.光栅尺相对扫描单元的方向误差
其中必须区分两种不同精度,一个是大行程度上的(例如全量程)的位置测量误差,另一个是单信号周期内的位置测量误差。
测量长度上的位置误差
敞开式直线光栅尺精度用精度等级表示,其定义为:在任何1米的测量长度上总误差F(相对其误差平均值)的极值不超过精度等级±a。
对敞开式直线光栅尺,以上定义的精度等级只适用于长光栅。因此它称为光栅尺精度。
2.单信号周期内位置误差
 单信号周期内的位置误差取决于扫描质量和光栅尺或编码器单信号周期大小。海德汉公司的敞开式直线光栅尺在全量程的任何位置处它均不超过一个信号周期的±1%。
 信号周期越小,单信号周期内的位置误差也越小。这对定位运动精度和慢速运动以及轴传动期间的速度控制非常重要。
3.heidenhain海德汉光栅尺敞开式直线光栅尺 
所有海德汉公司的直线光栅尺在发货前全部进行精度和功能检验。精度检定在两个运动方向上执行,精心选择的测量位置数能够确保准确确定大量程范围误差和单信号周期内的无知误差。
海德汉公司每个直线 光栅尺均有制造商检验合格证,证明它符合系统精度要求,检定标准符合国家和*标准要求,能确保满足ISO9001的可追溯性要求。
海德汉光栅尺产品>>
敞开式光栅尺型号:LIP 382、LIP 372、LIP 481、LIP 471、LIP 580、LIP 571、LIF 481、LIF 471、LIDA 483、LIDA 473、LIDA 485、LIDA 475、LIDA 487、LIDA 477、LIDA 287、LIDA277、LDIA 289、LIDA 279、LIDA 583、LIDA 573、PP 281R、PP 271R。
封闭式直线光栅尺型号:
LC4000、LC100、LIF481、LF183、LS400、LS100、LB382-单段、LB382-多段
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