β射线反向散射法测厚是一种较精密的非破坏性测厚方法, 其工作原理是用放射性同位素(如率E-Pml47等)释放出β射线,在射向被测试样后, 一些进入金属的β射线被反射至探测器,被反射的β粒子的强度,是被测涂层种类和厚度的函数,因此,从探测器测量由被测涂层反射的β射线强度, 即可测得被涂层的厚度,,该法特别适用于对各种贵金属涂层的厚度测量; 也可测量金属或非金属基体上的薄层(2.5µm以下)的非金属涂覆层,,由于β射线测厚仪本身只是一个测量β射线反射强度的比较仪器, 它的厚度值刻度是通过标准样品的定标得出的,如果被测试样与标准样品的涂层成分、密度、基体种类以及表面曲率有差异时, 则要根据下列公式修正厚度读数值：

β射线仪测厚的操作方法可按仪器的使用说明进行, 因为测厚时使用了各种放射源, 对人的健康有害, 操作时必须严格按规定要求操作, 并注意防护措施。