NF锁相放大器双频率测量 (LI5660 / LI5655 / LI5650)

提供一系列前置放大器，可以与具有不同截止频率的滤波器和前置放大器搭配使用。锁相放大器与周边产品的组合也十分容易，例如，为锁相放大器的前置放大器装配电源等。搭配使用“前置放大器+锁相放大器”或“滤波器+锁相放大器”，性能则有望进一步提升。主要特点

• 最大测量频率: 11 MHz

• 分次谐波测量

• 双频同时测量

• 外部10 MHz同步输入

LI5660 锁相放大器     

什么是锁相放大器？

锁相放大器是通过组合使用PSD和LPF的方式，来测量交流信号的振幅和相位的仪器。输入交流的“参考信号”， 并且只测量与其相同频率的信号。尽管测量信号中掺杂了交流噪声，还是可以通过去除噪声且只测量目标频率的信号。

什么是 "DR" ?

DR是用来表现锁相放大器性能的重要参数。锁相放大器的降噪能力是由DR（动态范围）规定的。NF的锁相放大器DR规格在100 dB以上。换而言之，当1 Vp-p的噪声信号重叠在10 µV的交流信号上时，也可以完成测量。从而知晓，锁相放大器通常都具有好的降噪能力。

锁相放大器适合于什么类型的测量？

1: 微小信号测量

在一般的测试环境中，存在mV程度的电压和µA程度的电流残余噪声信号。所以想要测量被背景的噪声信号所覆盖住的振幅信号，是十分困难的。但是锁相放大器的降噪能力优秀，就算是极其微小的信号也可以测量。

以下是NF锁相放大器测量信号的最小量程：

• 最小电压范围: 10 nV (LI5660 / LI5655 / LI5650 /LI5645)

• 最小电流范围: 10 fA* (LI5660 / LI5655 / LI5650)

*"f"为femto = 10-15

2: 相位测量

能够测量到测量信号和参考信号间的相位差。且相位测量的最小分辨率为0.001°。
可以测量2个信号之间的相位差，就意味着可以测量信号之间十分微小的时间差。

3. 噪声测量

用于锁相放大器中的PSD不但能够测量到信号，还可以测量到噪声。锁相放大器的操作与BPF相同，通过设定BPF（带通滤波器）的频段来测量噪声。

NF锁相放大器有什么特征？

1: 数字锁相放大器

测量信号和参考信号在输入后转换成数字信号，PSD和LPF的处理也基本上是采用数字运算的。

数字运算有以下性能及功能上的优势：

• 信号波形通过顺序运算，缩短了低频段的测量时间

• 通过减少信号处理端的直流失调，来减少输出误差

2: 高速响应

“时间常数”的最小设定值是非常短的。

• LI5660/LI5655: 1 µs

• LI5650/LI5645: 5 µs

十分适合需要用于高速图像处理显微镜（如AFM）的信号处理。

时间常数设定

3: 宽频段频率响应

LI5660的最高频率为11MHz。且LI5650以及LI5645的低频率为1mHz。

• LI5660: 0.5 Hz ~ 11 MHz

• LI5655: 0.5 Hz ~ 3 MHz

• LI5650/LI5645: 1 mHz ~ 250 kHz

在微赫兹级别的低频段中，十分适合做DLTS等半导体物质的深层瞬态分析。

频率设定

4: 双PSD

双PSD可以在不调整相位的前提下，同时测量信号的振幅和相位。

5: 双频率测量 (LI5660 / LI5655 / LI5650)

一般的测量往往通过测量参考信号的频率，双频率测量功能则是通过叠加参考信号频率，再同时测量其他频率。

双频率测量示例

分数谐波

Dual 1 检测模式

• 谐波信号测量

• 基准样品和对比样品的差分测量

在“差分测量”模式下，使用通用锁相放大器的话一般需要2台，但如果使用具有双频率测量功能的锁相放大器，只需要一台即可完成测量。

6. 显示采样的输出数据

输出数据可以通过以下方式获取并显示。

• 正面板显示 (可选择数值或条形图显示)

• 模拟直流信号 (最多可4个系统同时输出)

• 数字化数据 (USB, GPIB, 或 LAN界面)

7: 丰富的周边产品

通过增加时间常数设定, 锁相放大器可以测量到掺杂了噪音的信号。增加时间常数会延长测量时间，并且仅使用锁相放大器是无法将其缩短的。
但是，在锁相放大器的前端连接其他的滤波器或前置放大器，可以改善输入信号的信噪比，从而实现测量时间的缩短。

微小信号测量仪