1.       接好电源线和测试线，将测试线与待测试器器件连接好。量程置于10⁴档，从仪器后面板调电压按钮到所要求的测量电压。

2.       接通电源调零，在“Rx”两端开路的情况下，调零使电流表的显示为0000。

3.       将待测试样平铺在不保护电极正中央，然后用保护电极压住样品，再插入被保护电极（不保护电极、保护电极、被保护电极应同轴且确认电极之间无短路）。

4.       测试：接好线路，侧体积电阻时测试按钮拨到Rv边，测表面电阻时测试按钮拨到Rs边，接通电源同时开始计时，量程按钮从低档位逐渐拨，每拨一次停留1-2秒观察显示数字，当被测电阻大于仪器测量量程时，电阻表显示“1”，此时应继续将仪器拨到量程更高的位置。测量仪器有显示值时应停下，在1min的电化时间后测量电阻，当前的数字乘以档次即是被测电阻。

5.       测试完毕将量程拨至（10⁴）档，测试按钮拨到中央位置后关闭电源。

6.       注意事项

应在“Rx”两端开路时调零，一般一次调零后在测试过程中不需再调零。

禁止将“R_X”两端短路，以免微电流放大器受大电流冲击。

在测试过程中不要随意改动测量电压。

测量时从低次档逐渐拨往高次档。

接通电源后，手指不能触及高压线的金属部分。

测试过程中不能触摸微电流测试端。

在测量高阻时，应采用屏蔽盒将被测物体屏蔽。

*先做体积电阻率然后做表面电阻率测试