低温等离子体（Plasma）应用已经是一个具有影响的重要的科学与工程，对高科技经济的发展及传统工业的改造有着巨大的影响。不少微电子器件设备都采用等离子体清洗机；较多高分子材料都要经过低温等离子体的表面处理和改性。低温等离子体清洗机广泛用于半导体工业、聚合物薄膜、材料防腐蚀、等离子体电子学、等离子体合成、等离子体冶金、等离子体煤化工、等离子体三废处理等领域。

等离子体清洗机的辅助加工工艺被用来制造特种优良性能的新材料、研制新的化学物质和化学过程，加工、改造和精制材料及其表面，等离子清洗机具有极其广泛的工业应用--从薄膜沉积、等离子体聚合、微电路制造到焊接、工具硬化、超微粉的合成、等离子体喷涂、等离子体冶金、等离子体化工、等离子体辅助加工

等离子体清洗机方向性不强，能够处理各种形状的物体，并且对于微孔和凹陷也能够深入内部进行精细化处理。等离子清洗机对材料也没有限制，尤其适用于不耐热和不耐溶剂的材料，处理效率非常高只需要几分钟即可。