等离子清洗机能改善亲水性，提高粘接性，等离子清洗机能去除肉眼看不见的有机污染物和表面吸附层，以及工件表面的薄膜层。等离子清洗机一次精密的清洗处理可以解决工件表面的附着力问题。

1、等离子清洗机的激活键能-交联作用

等离子体中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的键能在0~10eV，因此等离子体清洗机对工件表面处理后，可以使工件表面的原有的化学键产生断裂，等离子体中的自由基与这些键形成网状的交联结构，大大地激活了表面活性。

等离子清洗机利用等离子体与材料表面发生物理或化学反应来提高材料的表面性能,解决材料清洗难,粘接难与印刷难的问题。

2、等离子清洗机对材料表面轰击-物理作用

等离子清洗机主要是利用等离子体里大量的离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子作纯物理的撞击，把工件表面的原子或附着工件表面的原子打掉，不但清除了工件表面原有的污染物和杂质，而且会产生刻蚀作用，将工件表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了工件表面的比表面积，提高固体表面的润湿性能。由于离子在压力较低时的平均自由基较轻长，得到能量的累积，因而在物理撞击时，离子的能量越高，越是有更多能量作撞击，所以若要以物理作用为主时，就必须控制较低的压力下来进行反应，为了保证较低的压力，需要持续通入空气或者其他气体，这样清洗效果较好

3、等离子清洗机能形成新的官能团--化学作用

以化学反应为主的等离子清洗机具有：性能好、清洗快、去除氧化物、有机物及物体表面活化效果比较好，且使用过程中不会产生对人体和环境有害的气体来，是一种真正环保的表面处理设备

等离子清洗机的化学作用其反应机理主要是利用等离子体里的自由基来与材料表面做化学反应，频率和压力较高时，对自由基的产生较有利，所以若要以化学反应为主时，就必须配备较高的频率和较高的压力来进行反应。

在化学反应里常用的气体有氢气（H2）、氧气（O2）、甲烷（CF4）等，这些气体在等离子清洗机内反应成高活性的自由基，引入反应性气体，那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应，引入新的官能团，如烃基、氨基、羧基等，这些官能团都是活性基团，能明显提高材料表面活性。