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气体质量流量计 产品简介

时间:2020-05-09      阅读:478

产品名称:气体质量流量计 气体流量计 微型流量传感器

产品型号:FS4000系列
  • 产品概述:MF4000系列带数显;FS4000系列不带数显

           

    FS4000是采用的微机电系统(MEMS)流量传感器和电子控制,专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量,低压损。适用于净化空气或氮气流量监控,还可用于环境采样器(如色谱分析仪器等)

    FS4003流量传感器,管道内径为3mm,成本低测量范围大到5SLPM;适用于粒子计数器和各类分析仪器。

    FS4008流量传感器,管道内径为8mm,测量范围大到50SLPM;可用于麻醉设备、洁净气体检测,如:空气采样机,气体分析仪等

     

    产品特点:

     

    -专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而

     

    -支持多种连接方式,易于安装与使用

    -传感芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,保证了传感器的高精度计量

    -在单个芯片上实现了多传感器集成,使其量程比达到了100:1甚至更高

    -输出方式灵活,既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据,也可通过模拟接口输出线性的模拟电压

    -零点稳定度高

    -全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性

    -低功耗、低压损

    -响应速度快

     

    机械尺寸:

     

     

     

    产品特点:

     

     

     

     

     

     

    性能参数

    FS4003

    FS4008

    单位

    通径

    3

    8

    mm

    大流量

    2, 3, 4, 5

    10, 20, 30, 40, 50

    SLPM

    量程比

    ≥100:1

     

    精度

    ±(1.5+0.2FS)

    %

    重复性

    0.25

    %

    零点输出飘移

    ±30

    mV

    输出飘移

    ±0.12

    %/℃

    响应时间

    10(默认,50,100,200,500,1000可设置)

    msec

    工作电源

    8~18Vdc,50mA

     

    输出方式

    线性,RS232/RS485,模拟电压0.5~4.5Vdc

     

    大流量压损

    100

    600

    Pa

    大工作压力

    0.5

    MPa

    工作温度

    -10 ~ + 55

    存储温度

    -20 ~ + 65

    工作湿度

    <95%RH(无结冰、无凝露)

     

    机械接口

    BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接头

     

    校准方式

    空气(或其他气体),20℃,101.325kPa

     

    重量

    57(带R1/4,BSPT1/4接口) 71(带4mm,8mm快速接口,68(带6mm快速接头)

    g




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  • MF4003-2-R-BV-A    
  • MF4003-5-R-BV-A    
  • MF4008-10-R-BV     
  • MF4008-50-R-BV     
  • FS4003-2-R-BV-A   
  • FS4003-5-R-BV-A    
  • FS4008-10-R-BV     
  • FS4008-50-R-CV     
  • FS4001-1000-CVA
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