气体质量流量计 产品简介
时间:2020-05-09 阅读:478
产品名称:气体质量流量计 气体流量计 微型流量传感器 产品型号:FS4000系列 |
产品概述:MF4000系列带数显;FS4000系列不带数显
FS4000是采用的微机电系统(MEMS)流量传感器和电子控制,专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量,低压损。适用于净化空气或氮气流量监控,还可用于环境采样器(如色谱分析仪器等)
FS4003流量传感器,管道内径为3mm,成本低测量范围大到5SLPM;适用于粒子计数器和各类分析仪器。
FS4008流量传感器,管道内径为8mm,测量范围大到50SLPM;可用于麻醉设备、洁净气体检测,如:空气采样机,气体分析仪等
产品特点:
-专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而
-支持多种连接方式,易于安装与使用
-传感芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,保证了传感器的高精度计量
-在单个芯片上实现了多传感器集成,使其量程比达到了100:1甚至更高
-输出方式灵活,既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据,也可通过模拟接口输出线性的模拟电压
-零点稳定度高
-全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性
-低功耗、低压损
-响应速度快
机械尺寸:
产品特点:
性能参数
FS4003
FS4008
单位
通径
3
8
mm
大流量
2, 3, 4, 5
10, 20, 30, 40, 50
SLPM
量程比
≥100:1
精度
±(1.5+0.2FS)
%
重复性
0.25
%
零点输出飘移
±30
mV
输出飘移
±0.12
%/℃
响应时间
10(默认,50,100,200,500,1000可设置)
msec
工作电源
8~18Vdc,50mA
输出方式
线性,RS232/RS485,模拟电压0.5~4.5Vdc
大流量压损
100
600
Pa
大工作压力
0.5
MPa
工作温度
-10 ~ + 55
℃
存储温度
-20 ~ + 65
℃
工作湿度
<95%RH(无结冰、无凝露)
机械接口
BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接头
校准方式
空气(或其他气体),20℃,101.325kPa
重量
57(带R1/4,BSPT1/4接口) 71(带4mm,8mm快速接口,68(带6mm快速接头)
g
- MF4003-2-R-BV-A
- MF4003-5-R-BV-A
- MF4008-10-R-BV
- MF4008-50-R-BV
- FS4003-2-R-BV-A
- FS4003-5-R-BV-A
- FS4008-10-R-BV
- FS4008-50-R-CV
- FS4001-1000-CVA