●测量温度：室温---600°C ;

●控温精度：±1℃ ，

●显示精度：±0.1℃；

●升温斜率：1-5°C/min；

●测量精度：0.05%；

●电阻率：10-5 ～105 Ω.cm ;

●电导率：10-5 ～105 s/cm

●方块电阻：10-4 ～106 Ω/□；

●电阻：10-5 ～105 Ω；

●探针间距：2±0.01mm；

●探针压力：0~2kg可调；

●针间绝缘电阻：≥1000MΩ；

●真空腔体漏率标准要小于10-9 Pa?m3/s ;

●样品：直径15~30mm，厚度小于4mm；

●设备尺寸：680mmX450mmX400mm