高温四探针测试仪的测量原理

　　测量电阻率的方法很多，如三探针法、电容-电压法、扩展电阻法等,四探针法则是一种广泛采用的标准准

　　法，仪器采用经典直排四探针原理，同时采用了双电测组合四探针法。

　　经典的直排四探针法测试电阻率，要求使用等间距的探针，如果针间距离不等或探针有游移，就会造成实验差。当被测片较小或在大片边缘附近测量时，要求计入电场畸变的影响进行边界修正。

　　采用双电测组合四探针的出现，为提高薄膜电阻和体电阻率测量准确度创造了有利条件。

　　高温四探针测试仪采用双电测组合四探针法的优势

　　采用双电测组合四探针法进行测试，测试结果与探针间距无关，能够消除间距不等及针尖机械游移变化的影响，因此四探针测试台允许使用不等距探针头。

　　采用双电测组合四探针法具有自动修正边界效应的功能，对小尺寸被侧片或探针在较大样品边缘附近时,不需要对样品做几何测量，也不需要寻找修正因子。

　　采用双电测组合四探针法，不移动四探针针头，同时使用三种模式测量，既可计算得到测试部位的电阻均匀性。