日本小坂KOSAKA  | 微细形状测定机ET4000系列概述

台阶仪可以应用在半导体，光伏/太阳能，光电子，化合物半导体，OLED，生物医药，PCB封装等领域的薄膜厚度，台阶仪测量薄膜厚度,台阶高度，粗糙度（Ra,Rq,Rmax…），划痕深度，磨损深度，薄膜应力（曲定量率半径法）等定量测量方面。其高精度，高重复性，自动探索样品表面

日本小坂KOSAKA 台阶仪 | 微细形状测定机ET4000系列特点

★ 高精度．安定性．机能性卓yue适合于FPD基板·晶圆硬盘等的微细形状、段差、粗度测定的机型。
★ 是多机能的全自动微细形状测定机，针对用途及样品尺寸有多种机型可供选择。
★ ET4000A/ ET4000AK一可实现2D/3D表面形状测量。
★ ET4000M一高性能的泛用微细形状测定机。
★ ET4000L一对应大型工件的全自动微细形状测定机。
★ ET4300一适合12″样品测量。