气体质量流量控制器&气体流量计

HORIBA提供多种不同类型的气体质量流量控制器以满足客户不同的需求。所有产品都拥有高精度、快速响应的特性。多种不同类型的气体质量流量控制器皆拥有宽泛的流量范围，客户可选择适合的类型。我们可提供三种阀门，客户可选择热式阀门、电磁线圈阀门、或者压电陶瓷阀。同样我们也可提供多种不同的通讯方式，包括模拟式、数字式、DeviceNet™ (*1), 以及PROFIBUS™(*2) (取决于产品型号)。我们产品的流量范围可覆盖微量流量直至超大流量。

*1 Devicenet是一种通讯方式的标志。
*2 PROFIBUS是一种化的通讯方式标志。

 高范围

压力不敏感型高性能质量流量控制器D500
压力不敏感型高性能质量流量控制器: D500
高稳定性质量流量模块—气体流量控制不受上游和下游压力波动差影响、PI（压力不敏感型）质量流量模块

性能产品

热感传感器，压力钝感质量流量计SEC-Z700系列
应用高温技术的高可靠性，高精度数字式流量控制器

高销量

多范围/多气体的数字式质量流量控制器 SEC-Z500X
提供多气体，多量程的解决方案，是HORIBA的气体质量流量控制器。高精度，快速响应，轻巧的尺寸。全金属

通用（数字/模拟式 通讯模式）

数字式质量流量控制器 SEC-N100 系列
针对多种工业。多种通讯方式，数字式/模拟式，DeviceNet™, CC-Link®, PROFIBUS™以及EtherCAT®。大范围控制从10SCCM到1000SLM，全金属

通用（模拟式 通讯模式）

质量流量控制器 SEC-E系列
适用于广泛范围的流量控制：在同一系列中，适于从0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制 适用于广泛的用途：在普通产业市场中，拥有众多的销售业绩，引以为豪。 低成本：产品阵容中有力求具有成本优势的型号： SEC-E40MK3/E50MK3

 
质量流量控制器 SEC-400系列
它是搭载有温控阀的基本型号。
利用小型装置的SEC-310，可以进行大于0.1SCCM的微小流量控制。并且，利用SEC-623可以进行小于200SLM的大流量控制。
高精度型号：SEC-405可以进行±0.5％F.S.的流量控制.

 高温

高温应用质量流量控制器 SEC-8000F/D/E系列
适用于高温环境的数字式质量流量控制器