HORIBA/堀场 品牌
经销商厂商性质
上海市所在地
HORIBA STEC SEC-Z512MGX质量流量控制器
品 牌：HORIBA STEC
产品型号：SEC-Z500X系列 / SEF-Z500X系列
原产 国：国外 日本
详细说明：SEC-Z500X系列数字式质量流量控制器、流量计
质量流量控制器是半导体生产设备上的关键部件。它的质量和性能是影响半导体制程优劣的主要因素。HORIBA STEC作为一家长期以来，为半导体持续不断的提供高质量、高性能的元器件供应商，已将*扩展到50%以上。
制造: HORIBA STEC
产品相关尺寸及其他；HORIBA STEC SEC-Z512MGX质量流量控制器
质量流量控制器型号 | *1 | SEC-Z512KX | SEC-Z512MGX | SEC-Z522MGXN |
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SEC-Z512X | SEC-Z522XN |
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质量流量计型号 | *1 | SEF-Z512KX | SEF-Z512MGX | SEF-Z522MGXN |
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SEF-Z512X | SEF-Z522XN |
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全量程流量 （氮气转换流量） |
1/2 SCCM | MR/MG 编号#R1.5: 17.5 SCCM #1.5: 55 SCCM #2.5: 175 SCCM #3.5: 550 SCCM #4.5: 1.75 SLM #5.5: 5.5 SLM | #R01: 10 SCCM #01: 30 SCCM #02: 100 SCCM #03: 300 SCCM #04: 1 SLM #05: 3 SLM #06: 10 SLM |
MR/MG 编号#6.5: 22 SLM #07: 30 SLM #08: 50 SLM | |||
阀类型 | O: 全开 C: 全闭 | ||||||
阀全闭时流量 | ≤ 2%F.S | ||||||
流量控制范围 | 2~100% F.S | ||||||
流量监测范围（SEF） | 0~100% F.S | ||||||
精度 | *2 | ±1.0% F.S | ±1.0% S.P. (设定流量> 25% F.S.) ±0.25% F.S. (设定流量≤ 25% F.S.) | ||||
工作温度 | 5 ~ 50°C (推荐温度范围: 15 ~ 45°C) | ||||||
响应时间 | ≤ 1 秒: 流量控制范围 | ||||||
线性 | ≤±0.5%F.S | ||||||
重复性 | ≤±0.2%F.S | ||||||
工作压差 | 50 ~ 300 kPa (d) | 50 ~ 300 kPa (d) #5.5, #06: 100 ~ 300 kPa (d) | 200 ~ 300 kPa (d) | ||||
工作压差（SEF） | ≤ 300 kPa (d) | ||||||
大工作压力 | 450 kPa (g) | ||||||
大承受压力 | 1000 kPa (g) | ||||||
外漏 | ≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He) | ||||||
流量设定信号 | 0.1 ~ 5 V DC (2% ~ F.S); 输入阻抗1MΩ或更高 | ||||||
流量输出信号 | 0 ~ 5 V DC (0% ~ F.S.); 小负载电阻2kΩ或更高 | ||||||
数字接口 | 具备地址功能n: RS-485 (传送速率 38,400 bps) F-Net 协议 | ||||||
内部接触表面 | 316L 不锈钢 (表面抛光) | ||||||
电源供应 |
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| +15V 5% 150mA | -15V 5% 150 mA |
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信号响应 | 模拟式: D-Sub 9-pin (顶部) 数字式: 2 LAN jacks (顶部) | ||||||
标准接头 | *3 | 1/4 英寸 VCR 相当 可选: 1.125英寸 IGS, 1.5英寸 IGS | 1/4 英寸 VCR相当 可选: 1.125英寸 IGS |
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安装方向 | 自由 | ||||||
